[发明专利]一种基于超疏水表面的电润湿微流体装置

权利要求书

1.一种基于超疏水表面的电润湿微流体装置，其特征在于：包括一个微流体操控的下基板（12）、一个微流体操控的上基板（11）、以及位于下基板（12）和上基板（11）之间的微流体腔（10），所述下基板（12）的上表面上设置有微纳米双重结构；所述微纳米双重结构中的微米结构包括并排间隔布置在下基板（12）上表面上的一组微米级条状结构（16），所述条状结构（16）的表面覆盖有一层导电层（18），所述导电层（18）的表面覆盖有一层疏水介质层（19）；所述微纳米双重结构中的纳米结构包括布置在下基板（12）上表面上的纳米级结构阵列（17），所述结构阵列（17）的表面覆盖有一层疏水介质层（19），所述结构阵列（17）布置在相邻条状结构（16）的间隙之间；所述下基板（12）上表面的裸露处覆盖有一层疏水介质层（19）；

所述上基板（11）的下表面覆盖有一层疏水介质层（19），在上基板（11）和其上覆盖的疏水介质层（19）之间并排间隔布置有一组电极（15），所述电极（15）的长度方向取向和条状结构（16）的长度方向取向相垂直。

2.根据权利要求1所述的基于超疏水表面的电润湿微流体装置，其特征在于：所述微流体腔（10）内为水性微流体（13），所述下基板（12）与水性微流体（13）接触角大于150°。

3.根据权利要求1所述的基于超疏水表面的电润湿微流体装置，其特征在于：所述疏水介质层（19）为含氟聚合物。

4.根据权利要求1所述的基于超疏水表面的电润湿微流体装置，其特征在于：所述上基板（11）和电极（15）均为透明材质。

5.根据权利要求1所述的基于超疏水表面的电润湿微流体装置，其特征在于：所述所有条状结构（16）表面的导电层（18）在下基板（12）的末端相连。