[发明专利]磁传感装置及其制备方法

权利要求书

1.一种磁传感装置，其特征在于，所述装置包括第三方向磁传感部件，该第三方向磁传感部件包括：

-基底，其表面开有沟槽；

-导磁单元，其主体部分设置于沟槽内，并有部分露出沟槽至基底表面，用以感应第三方向的磁信号，并将该磁信号输出到感应单元进行测量；

-感应单元，用以测量第一方向或/和第二方向的磁场，结合导磁单元输出的磁信号，能测量被导磁单元引导到第一方向或/和第二方向测量的第三方向磁场；第一方向、第二方向、第三方向两两相互垂直；

所述感应单元包括第一磁材料层、电极层，所述导磁单元、第一磁材料层部分由隔离单元断开，部分连接在一起；所述电极层包括平行设置的若干电极，所述导磁单元靠近各电极的一侧设有若干隔离通孔，隔离通孔贴近对应的电极设置，隔离通孔恰好将电极与导磁单元部分或者完全分隔开；

所述磁传感装置还包括第一磁传感器、第二磁传感器，分别用以感应与基底表面平行的第一方向、第二方向的磁信号；第一方向、第二方向相互垂直。

2.根据权利要求1所述的磁传感装置，其特征在于：感应单元的第一磁材料层、电极层之间有绝缘介质材料层。

3.一种磁传感装置，其特征在于，所述装置包括第三方向磁传感部件，该第三方向磁传感部件包括：

基底，其表面开有沟槽；

导磁单元，其主体部分设置于沟槽内，并有部分露出沟槽至基底表面，用以感应第三方向的磁信号，并将该磁信号输出到感应单元进行测量；

感应单元，用以测量第一方向或/和第二方向的磁场，结合导磁单元输出的磁信号，能测量被导磁单元引导到第一方向或/和第二方向测量的第三方向磁场；第一方向、第二方向、第三方向两两相互垂直；所述感应单元包括第一磁材料层、电极层，所述导磁单元、第一磁材料层部分由隔离单元断开，部分连接在一起。

4.根据权利要求3所述的磁传感装置，其特征在于：

所述磁传感装置还包括第一磁传感器、第二磁传感器，分别用以感应与基底表面平行的第一方向、第二方向的磁信号；第一方向、第二方向相互垂直。

5.根据权利要求3所述的磁传感装置，其特征在于：

所述导磁单元包括四个导磁子单元，分别为第一导磁子单元、第二导磁子单元、第三导磁子单元、第四导磁子单元；

所述感应单元包括四个感应子单元，分别为第一感应子单元、第二感应子单元、第三感应子单元、第四感应子单元；

所述第一导磁子单元与第一感应子单元配合，作为第三方向磁传感部件的第一感应模块；

所述第二导磁子单元与第二感应子单元配合，作为第三方向磁传感部件的第二感应模块；

所述第三导磁子单元与第三感应子单元配合，作为第三方向磁传感部件的第三感应模块；

所述第四导磁子单元与第四感应子单元配合；作为第三方向磁传感部件的第四感应模块；

第一感应子单元、第二感应子单元、第三感应子单元、第四感应子单元均包括磁材料层，该磁材料层的磁材料的电阻随着磁场强度的方向变化；

所述基底设有一列或若干列沟槽，一列沟槽由一个长沟槽构成，或者一列沟槽包括若干子沟槽；

各导磁子单元包括若干磁性构件，各磁性构件的主体部分设置于对应的沟槽内，并有部分露出于沟槽外。

6.根据权利要求3所述的磁传感装置，其特征在于：

所述导磁单元包括分别设置于沟槽的两侧的第一导磁部分、第二导磁部分；第一导磁部分、第二导磁部分的主体部分设置于沟槽内，并有部分露出沟槽至基底表面；第一导磁部分及第二导磁部分用以收集垂直方向的磁场信号，并将该磁场信号输出至感应单元；

所述感应单元设置于沟槽的两侧、所述基底表面上，与所述沟槽中的第一导磁部分及第二导磁部分相互配合；所述感应单元是感应与基底表面平行方向的磁传感器，用以接收所述导磁单元输出的来自垂直方向的磁信号，并根据该磁信号测量出垂直方向对应的磁场强度及磁场方向；所述垂直方向为基底表面的垂直方向。

7.根据权利要求3所述的磁传感装置，其特征在于：

所述电极层包括平行设置的若干电极，所述导磁单元靠近各电极的一侧设有若干隔离通孔，隔离通孔贴近对应的电极设置，隔离通孔恰好将电极与导磁单元部分或者完全分隔开。