[发明专利]手指间距可调的搬运机械手及其晶圆搬运装置

说明书

【技术领域】

本发明涉及机械手技术领域，特别是涉及一种手指间距可调的搬运机械手及其晶圆搬运装置。

【背景技术】

在半导体器件的生产过程中，目前现有的晶圆搬运机械手机构，一般只能运输一个晶圆。在同时运送多个晶圆时，无法对机械手的手指间距进行调整，因此其适应性和应用范围受到了一定的限制，这种机械手只能在特定环境下对多个晶圆完成同时搬运，从而也限制了机械手的工作效率。

鉴于此，克服该现有技术所存在的缺陷是本技术领域亟待解决的问题。

【发明内容】

本发明要解决的技术问题是提供一种可以对手指间距进行调整的搬运机械手及其晶圆搬运装置。

本发明采用如下技术方案：

一种手指间距可调的搬运机械手，所述机械手包括：

至少2个手指单元（10），每一手指单元（10）设有一机械手指（11）；

一连杆（20），所述连杆（20）上固定设置有与手指单元（10）一一对应的轴承；

其中一个轴承与一个手指单元（10）固定连接，其余的手指单元（10）的后端一侧开设有沿机械手指方向的槽（40），其余轴承嵌入槽（40）内并可在槽（40）内沿机械手指（11）方向移动，连杆（20）、轴承和槽（40）组成曲柄滑块机构；

所述手指单元（10）的后端另一侧设有导轨（60），导轨（60）沿竖直方向设置且与机械手指（11）方向垂直，手指单元（10）的后端另一侧固定有滑块（50），手指单元（10）通过滑块（50）沿导轨（60）运动；

其中一个手指单元（10）沿竖直方向运动，带动连杆（20）绕所述与一个手指单元（10）固定连接的轴承转动，通过所述曲柄滑块机构带动其他手指单元（10）沿导轨（60）做上下运动。

进一步地，所述轴承为外螺纹轴承（30）。

进一步地，所述机械手还包括一外壳，所述与轴承固定连接的手指单元（10）固定于外壳上。

进一步地，所述导轨（60）设置于外壳上。

进一步地，所述每一手指单元（10）还设有托块（12）和盖板（13），所述机械手指（11）固定于托块（12）和盖板（13）之间；所述槽（40）开设于托块（12）上。

在本发明一实施例中，所述手指单元（10）设有5个，在竖直方向上从上往下分别为：第一手指单元（101）、第二手指单元（102）、第三手指单元（103）、第四手指单元（104）和第五手指单元（105）；

其中，第三手指单元（103）固定于外壳上，其中一个轴承与第三手指单元（103）固定连接；

第五手指单元（105）沿竖直方向运动，带动连杆（20）绕与第三手指单元（103）固定连接的轴承转动，通过曲柄滑块机构带动其他手指单元（10）沿导轨（60）做上下运动。

进一步地，其中一个轴承固定于第三手指单元（103）的托块（12）上。

进一步地，所述机械手用于晶圆搬运。

本发明还提供了一种晶圆搬运装置，在所述晶圆搬运装置中设有如上所述的手指间距可调的搬运机械手。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于：在手指结构中加入曲柄滑块机构，实现对机械手指间距的有效调节，提高了机械手的工作效率，增加了机械手指的适应性和通用性，使得机械手指在不同工作环境下都能实现对多个待搬运物品的同时运输。

【附图说明】

图1是本发明实施例中手指间距可调的搬运机械手的结构示意图；

图2是图1中隐藏部分连杆后的局部结构图。

附图标记如下：

10-手指单元，            101-第一手指单元，

102-第二手指单元，       103-第三手指单元，

104-第四手指单元，       105-第五手指单元，

11-机械手指，            12-托块，

13-盖板，                20-连杆，

30-外螺纹轴承，          40-槽，

50-滑块，                60-导轨。

【具体实施方式】

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

此外，下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。