[发明专利]一种轴承滚珠及其制造方法

权利要求书

1.一种轴承滚珠，包括滚珠本体（1），其特征在于，所述滚珠本体（1）的外部为双层结构；滚珠本体（1）的外表面分布有孔径为3～20μm的第一系列微型孔（2），滚珠本体（1）的外表面还设置有第一系列微型孔（2）的偏心孔——第二系列微型孔（3）；所述第一系列微型孔（2）的深度为0.1～5μm；第二系列微型孔（3）和双层结构的内部空间连通多个所述第一系列微型孔（2）。

2.如权利要求1所述的轴承滚珠，其特征在于，所述滚珠本体（1）的直径为1～20mm。

3.如权利要求1所述的轴承滚珠，其特征在于，所述滚珠本体（1）的直径为3～6mm。

4.如权利要求1所述的轴承滚珠，其特征在于，所述第一系列微型孔（2）的分布面积占滚珠本体（1）的外表面面积的5%～10%；所述第一系列微型孔（2）均匀分布于滚珠本体（1）的外表面。

5.如权利要求1所述的轴承滚珠，其特征在于，所述第一系列微型孔（2）相互之间的距离为其孔径的5～10倍。

6.一种如权利要求1所述的轴承滚珠的制作方法，其特征在于，包括：

A.在滚珠本体（1）的外表面静电喷涂一层厚度为0.1～0.5μm的树脂层；

B.在所述树脂层上化学沉积不锈钢层，不锈钢层的厚度为0.1～2μm；

C.采用高能束蚀刻工艺在所述不锈钢层制作第一系列微型孔（2），所述第一系列微型孔（2）穿透所述树脂层，所述第一系列微型孔（2）的孔径为10～35μm；

D.在所述第一系列微型孔（2）的孔壁化学沉积不锈钢层，所述沉积不锈钢层的厚度为1～2μm；

E.通过电镀工艺，在所述沉积不锈钢层上电镀不锈钢，所述电镀不锈钢层的厚度为3～5μm。

7.如权利要求6所述的制作方法，其特征在于，所述高能束蚀刻工艺包括激光蚀刻、电子束蚀刻或聚焦离子束蚀刻。

8.如权利要求6所述的制作方法，其特征在于，所述步骤E之后还包括：

F.采用高能束蚀刻工艺在滚珠本体（1）的外表面蚀刻第一系列微型孔（2）的偏心孔——第二系列微型孔（3）；

G.高温烧蚀所述轴承滚珠，所述树脂层的灰烬通过所述第二系列微型孔（3）逸出。

9.如权利要求8所述的制作方法，其特征在于，所述高温烧蚀的温度比所述树脂的着火点温度高100℃以上。

10.如权利要求9所述的制作方法，其特征在于，所述高温烧蚀的温度比所述电镀不锈钢层的熔点温度低不超过400℃。