[发明专利]抗蚀膜剥离剂

权利要求书

1.一种新型的抗蚀膜剥离剂，其特征在于：包括N-乙基氨基甲酸乙酯、乙二醇单丁醚、没食子酸、有机溶剂和防腐蚀剂。 

2.如权利要求1所述的抗蚀膜剥离剂，其特征在于：所述有机溶剂为N-甲基吡咯烷酮、1，3-二甲基-2-咪唑烷酮、二甲基亚砜、二甲基乙酰胺、二甲基甲酰胺、N-甲基甲酰胺、环丁砜、丁基二乙二醇、乙基二乙二醇、甲基二乙二醇、三乙二醇、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丁醚、及其混合物。 

3.如权利要求1或2所述的抗蚀膜剥离剂，其特征在于：所述抗蚀膜剥离剂中各组分的重量份分别为N-乙基氨基甲酸乙酯20重量份～30重量份、乙二醇单丁醚5重量份～10重量份、没食子酸3～5重量份、有机溶剂60～70重量份和防腐蚀剂5～10重量份。 

4.如权利要求1至3所述的抗蚀膜剥离剂，其特征在于：所述防腐蚀剂由氯化1-羟乙基-3-十六烷基咪唑和式1所示的ω，ω′-双(苯并咪唑-2-基)烷烃构成，其中，n=8，两者的质量为1：1～1：2。 

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5.如权利要求1至4所述的抗蚀膜剥离剂，其特征在于：所述氯化1-羟乙基-3-十六烷基咪唑的制备方法具体为： 

第一步，1-十六烷基咪唑的制备，将1.79的咪唑和3.8mL的溴代十六烷在35mL的乙酸乙酯中混合，磁力搅拌10分钟混合均匀。将混合物倒入容量为60mL的聚四氟乙烯内衬中，将聚四氟乙烯内衬密封入不锈钢反应釜内，并放入数字式烘箱内，从室温加热至120℃恒温反应16h后自然冷却至室温。然后将混合物过滤取出滤液，用蒸馏水洗涤数次以除去没有参加反应的咪唑，用旋转蒸发仪将溶剂乙酸乙酯蒸出，所得产物1-十六烷基咪唑在70℃真空干燥箱中干燥12小时至恒重。得到淡黄色液体，称量产物； 

第二步，将2.9g的1-十六烷基咪唑和1ml的2-氯乙醇在35ml的乙酸乙酯中混合，磁力搅拌10分钟混合均匀，其中，反应物2-氯乙醇过量，使1-十六烷基咪唑充分反应，将混合物倒入容量为60mL的聚四氟乙烯内衬中，将聚四氟乙烯内衬密封入不锈钢反应釜内，并放入数字式烘箱内，从室温加 热至120℃，恒温反应6h，自然冷却至室温。用旋转蒸发仪将溶剂和过量的反应物2-氯乙醇蒸出，所得产物在70℃真空干燥箱中干燥12小时至恒重，得到的氯化1-羟乙基-3-十六烷基咪唑为白色固体。 

6.如权利要求1至5所述的抗蚀膜剥离剂，其特征在于：所述ω，ω′-双(苯并咪唑-2-基)烷烃的制备方法具体为： 

分别称取0.11mol邻苯二胺和0.05mol脂肪二酸，于研钵中充分研磨使其混合均匀，转移至三颈烧瓶中。加入混酸，通氮，机械搅拌下加热回流反应。TLC跟踪监测至反应结束，约10h，倒入250mL烧杯中，静置冷却，用浓氨水调节pH=7。于4℃下静置过夜，抽滤干燥，所得粗品用甲醇／水重结晶，得纯品。