[发明专利]间接方式的闪烁体面板及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于医疗的X光照相装置的闪烁体（scintillator）及其制造方法，具体是制造闪烁体面板之后将此与成像器件结合的间接方式的闪烁体面板及其制造方法。

背景技术

用于医疗的X光照相广泛利用不使用胶卷而使用放射线检测仪获得图像后传送到电脑以显示照相图片的数字放射线图像装置。

数字放射线图像装置根据其转换方式分为直接转换方式和间接转换方式，直接转换方式是将X光直接转换成电信号实现图像的方式，间接转换方式是将X光转换成可视光线之后使用光电二极管、CMOS、CCD传感器等成像器件将可视光线转换成电信号之后实现图像的方式。直接转换方式是施加高电压才能检测的，故间接转换方式被广泛利用。

间接转换方式利用将X光转换可视光线的闪烁体，根据将闪烁体的成像器件一体化的方式分为直接方式和间接方式。直接方式是将闪烁体层在成像器件上直接蒸镀形成闪烁体面板的方式，间接方式是先制造将闪烁体层在基板上蒸镀的闪烁体面板之后利用粘贴剂与成像器件结合。

韩国专利公开2001-0110762号（闪烁体面板和放射线图片传感器）中公开了一种间接方式的闪烁体面板。传统的间接方式的闪烁体面板其组成包括透射放射线的基板、基板上形成的反射性金属薄膜、反射性金属薄膜上形成的闪烁体层以及密封闪烁体层的保护膜等。保护膜是除了聚对二甲苯之外，还使用聚氯二对甲苯、聚二氯对二甲苯、聚四氯对二甲苯、聚氟对二甲苯、聚二甲基对二甲苯、聚二乙基对二甲苯等。

如上所述，传统的是必须包含聚对二甲苯（Polyparaxylylene）或帕里纶（Parylen）等聚合物系列的物质作为闪烁体层的保护膜，聚合物系列物质是被UV、X光等高能量光线扫描就容易被破坏，随着聚合物系列保护膜逐渐老化，产品性会下降。聚合物系列物质可以弱化从闪烁体发生的可视区域的光线强度，导致显示的数据清晰度下降。为提高清晰度而增加入射的X光的强度则导致医院器械的功能衰减。因此需要研究出一种可以最大限度地接收从闪烁体发生的可视区光线的光学技术装置。

发明内容

本发明针对所述传统的间接方式闪烁体面板结构进行改造，提供一种间接方式的闪烁体面板及其制造方法，即使扫描X光但依然保持物理特性，且将从闪烁体层生成的可视光线最大限度地传递到成像器件，并可自由调节可视光线的透射特性。

为实现所述目的，本发明的间接方式的闪烁体面板其组成包括基板、反射层、闪烁体层和氧化物层。

基板是由透射X光的非晶碳等构成。

反射层是在所述基板上形成，透射X光，反射可视光线。

闪烁体层是在所述反射层上形成，将X光转换成可视光线；

氧化物层是在所述闪烁体层上形成，透射可视光线，阻断湿气透过。

本发明的间接方式的闪烁体面板中，氧化物层是由折射率处于1.0以上、2.0以下的第一氧化物层和折射率处于2.0以上、3.0以下的第二氧化物层多个积层的结构构成的。第一氧化物层是SiO₂层，第二氧化层是TiO₂层，氧化物层的积层数是可以在2个以上、31个以下选择。氧化物层可以将折射率接近所述闪烁体层折射率的氧化物层先在所述闪烁体层上积层。

本发明的间接方式的闪烁体面板中，还可以包括在所述氧化物层上形成且透射可视光线、阻断湿气透过的保护膜。

本发明的间接方式的闪烁体面板的制造方法的实施步骤包括：准备X光透射用基板；在基板上形成透射X光且反射可视光线的反射层；在反射层上形成将X光转换成可视光线的闪烁体层；在闪烁体层上形成透射可视光线阻断湿气透过的氧化物层。

本发明的间接方式的闪烁体面板的制造方法中，氧化物层的形成步骤是将折射率处于1.0以上、2.0以下的第一氧化物层的形成步骤和折射率处于2.0以上、3.0以下的第二氧化物层的形成步骤反复多次进行。第一氧化物层是SiO₂层，第二氧化物层是TiO₂层。在氧化物层的形成步骤中，可以将折射率接近所述闪烁体层折射率的氧化物层先在所述闪烁体层上积层。

本发明的间接方式的闪烁体面板的制造方法中，氧化物层的形成步骤是采用工艺压力几十至几百mTorr的溅射、工艺压力10^-5 Torr以下的离子辅助真空蒸镀或基板倾斜公/自转方式。

本发明的间接方式的闪烁体面板的制造方法中，还可以包括在所述氧化物层上形成透射X光且阻断湿气透过的保护膜的步骤。

本发明具有的优点在于：