[发明专利]多功能晶体生长炉

权利要求书

1.一种多功能晶体生长炉，其特征在于它包括机架、坩埚平移机构、坩埚组成、加热炉平移机构、加热炉；其中坩埚平移机构固定在机架一端，加热炉平移机构固定在机架另一端；坩埚组成与坩埚平移机构固定连接，加热炉与平移炉升降机构固定连接；加热炉为中空炉膛，坩埚组成位于炉膛内。

2.根据权利要求1所述多功能晶体生长炉，其特征在于所述坩埚组成包括坩埚杆、坩埚定位托盘、坩埚保温托、石英瓶，其中坩埚杆通过轴承单元与坩埚平移机构连接，坩埚定位托盘同轴固定在坩埚杆顶端，坩埚保温托同心固定在坩埚定位托盘上表面，石英瓶同轴固定在坩埚保温托顶端，坩埚同心封装在石英瓶内。

3.根据权利要求1或2所述多功能晶体生长炉，其特征在于所述加热炉平移机构和坩埚平移机构包括驱动电机及减速器、丝杠、丝母、滑块、导轨、支撑板，其中驱动电机与减速器连接，减速器与丝杠连接，丝杠与丝母配合，丝母及滑块均固定在支撑板上，导轨固定在机架上，其方向与丝杠平行，滑块与导轨滑动配合。

4.根据权利要求1或2所述多功能晶体生长炉，其特征在于所述坩埚杆旋转机构包括旋转电机、减速器、轴承单元、齿形带、齿形带轮；其中轴承单元包括轴承盒与轴承，轴承位于轴承盒内部与之固定连接；旋转电机与轴承盒均固定在支撑板上；旋转电机与减速器连接，减速器与工作杆通过齿形带相连；齿形带轮与齿形带配合；轴承与坩埚杆配合。

5.根据权利要求3所述多功能晶体生长炉，其特征在于所述坩埚杆旋转机构包括旋转电机、减速器、轴承单元、齿形带、齿形带轮；其中轴承单元包括轴承盒与轴承，轴承位于轴承盒内部与之固定连接；旋转电机与轴承盒均固定在支撑板上；旋转电机与减速器连接，减速器与工作杆通过齿形带相连；齿形带轮与齿形带配合；轴承与坩埚杆配合。

6.根据权利要求5所述多功能晶体生长炉，其特征在于所述坩埚杆为空心杆，坩埚保温托轴心设置通孔，二者内部安装有测温热偶。

7.根据权利要求6所述多功能晶体生长炉，其特征在于所述多功能晶体生长炉还包括一个接线滑环，所述接线滑环固定在坩埚杆底部，并与坩埚杆内部的测温热偶接线。

8.根据权利要求7所述多功能晶体生长炉，其特征在于所述加热炉平移机构和坩埚平移机构的两端还设置传感器。

9.根据权利要求8所述多功能晶体生长炉，其特征在于所述多功能晶体生长炉还包括一个壳体，设置在整个设备外部。