[发明专利]加速度传感器

权利要求书

1.一种加速度传感器，其特征在于，具有：

基板；

第一弹性部件，其一端固定在所述基板上，并且相对于沿所述基板的第一方向和与所述基板正交的第三方向的这两个方向的加速度进行挠动；

第二弹性部件，其一端固定在所述基板上，并且相对于与沿所述基板的所述第一方向正交的第二方向和所述第三方向的这两个方向的加速度进行挠动；

多个锤部，其分别与所述第一和第二弹性部件的另一端连接，并且从所述基板游离且能够摆动地被所述第一和第二弹性部件支撑；

第一至第三传感器部，其根据所述锤部的摆动检测所述第一至第三方向的各加速度。

2.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，

所述第一至第三传感器部分别具有电容部，所述电容部具有设在所述基板上的固定电极和设在所述锤部上的可动电极，

所述第一传感器部的所述电容部具有的所述固定电极和所述可动电极形成为沿所述第二方向的平板状，

所述第二传感器部的所述电容部具有的所述固定电极和所述可动电极形成为沿所述第一方向的平板状，

所述第三传感器部的所述电容部具有的所述固定电极和所述可动电极形成为沿所述基板的平板状。

3.根据权利要求2所述的加速度传感器，其特征在于，

具有多个所述第三传感器部，其基于电容的变化来检测作用在所述第三方向上的加速度，所述电容的变化是与所述电容部的所述固定电极与所述可动电极之间的距离的变动相对应的，

基于将多个所述第三传感器部的输出合成的值来检测所述第三方向的加速度。

4.根据权利要求2所述的加速度传感器，其特征在于，

所述第三传感器部具有的所述电容部的容量值比所述第一、第二传感器部具有的所述电容部的容量值大。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的加速度传感器，其特征在于，

所述第一弹性部件在所述第二方向上的弹簧常数比在所述第一和第三方向上的弹簧常数大，

所述第二弹性部件在所述第一方向上的弹簧常数比在所述第二和第三方向上的弹簧常数大。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的加速度传感器，其特征在于，

对于所述第一至第三方向的各加速度的灵敏度大致相同。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的加速度传感器，其特征在于，

所述第一弹性部件与所述第二弹性部件具有相同的结构，而且，所述第一传感器部与所述第二传感器部具有相同的结构。

8.根据权利要求1至4中任一项所述的加速度传感器，其特征在于，

所述第一弹性部件是沿所述第一方向的第一边与沿所述第二方向的第二边交错相连、沿所述第二方向蛇行延伸的弹簧，并且连接所述第一弹性部件的两端的距离比所述第一边的长度长，

所述第二弹性部件是沿所述第一方向的第一边与沿所述第二方向的第二边交错相连、沿所述第一方向蛇行延伸的弹簧，并且连接所述第二弹性部件的两端的距离比所述第二边的长度长。