[发明专利]多层陶瓷的膜厚测定方法无效
| 申请号： | 201310455351.7 | 申请日： | 2013-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN103776382A | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 大竹秀幸;高柳顺 | 申请（专利权）人： | 爱信精机株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 金相允;向勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多层 陶瓷 测定 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种膜厚测定方法，包括如下工序：
产生太赫兹波；
将所述太赫兹波照射到具有两个以上陶瓷层的多层陶瓷上；
获得由所述多层陶瓷反射的所述太赫兹波的时间波形；以及
根据所述时间波形，测定所述陶瓷层的膜厚。
2.如权利要求1所述的膜厚测定方法，其特征在于，
所述多层陶瓷具有：
第一陶瓷层；以及
第二陶瓷层，与所述第一陶瓷层接触，并具有与所述第一陶瓷层不同的气孔率。
3.如权利要求2所述的膜厚测定方法，其特征在于，
所述第一陶瓷层和所述第二陶瓷层使用相同的陶瓷材料而形成。
4.如权利要求1所述的膜厚测定方法，其特征在于，
测定所述膜厚的工序包括如下工序：
在所述时间波形中，检测出与所述多层陶瓷的边界面相对应的两个峰值；以及
根据所述两个峰值间的时间差，运算所述膜厚。
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