[发明专利]一种用于超大拼接平台的台面支撑装置

权利要求书

1.一种用于超大拼接平台的台面支撑装置，其特征在于，针对拼接平台的每块子平台均设置有6个可调支撑高度的支撑足，6个支撑足分为主动支撑足和辅助支撑足两组支撑，每组支撑中支撑足呈等边三角形布局，两个三角形以等腰线为对称线镜像设置组成正方形，两个三角形的中心重合且与子平台的重心在同一垂直线上；主动支撑足保持并主动调整子平台的水平度，辅助支撑足辅助承托子平台的重量，主动支撑足和辅助支撑足均为闭环控制，所述支撑子系统设置有与支撑足配合的独立控制单元；主动支撑足的支撑点位于子平台研磨时的支撑点上。

2.如权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑足设置有长方体状的安装座，安装座由花岗岩构成，所有安装座的上表面保持在同一水平面上。

3.如权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述主动支撑足设置有可控电机、电机驱动器、精密减速器、精密螺纹副和测微传感器，通过精密螺纹副支撑子平台。

4.如权利要求3所述的支撑装置，其特征在于，所述测微传感器设置在精密螺纹副一侧，接触子平台下表面综合检测子平台的调整位移，并将检测数据反馈至独立控制单元。

5.如权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述辅助支撑足设置有可控电机、电机驱动器、精密减速器、精密螺纹副和力感知传感器。

6.如权利要求5所述的支撑装置，其特征在于，所述力感知传感器设置在精密螺纹副的上端，通过力感知传感器直接支撑子平台。

7.如权利要求3或5所述的支撑装置，其特征在于，所述可控电机采用步进电机或伺服电机。

8.如权利要求3或5所述的支撑装置，其特征在于，每块子平台还设置有传输测微传感器和力感知传感器检测数据以及接收调整命令的数据I/O接口。

9.如权利要求8所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑装置设置有处理检测数据和发出调整命令的总控制单元，通过数据I/O接口连接各个子平台的独立控制单元，组成闭环控制系统。