[发明专利]一种镜头组安装组件以及具有该组件的光学测量系统

权利要求书

1.一种镜头组安装组件，其包括：

基座；

定位光路镜头组，其安装到所述基座上，用于定位位于所述基座下方的待测元件的共焦面；

至少两个检测光路镜头组，均安装到所述基座上，用于不同光路的检测；

可观测光路镜头组，其安装到所述基座上，当所述至少两个检测光路镜头组的一个检测所述待测元件时，通过所述可观测光路镜头组，由所述检测光路镜头组的成像是可观测的；

其中，所述至少两个检测光路镜头组和所述可观测光路镜头组的焦点是相同的并且限定在所述共焦面上。

2.根据权利要求1所述的镜头组安装组件，其中，所述定位光路镜头组被布置成其光轴与所述共焦面垂直。

3.根据权利要求1所述的镜头组安装组件，其中，每个所述检测光路镜头组包括入射镜头组和反射镜头组，所述入射镜头组和所述反射镜头组被布置成所述入射镜头组的光轴和所述反射镜头组的光轴相对于与所述共焦面垂直并经过所述焦点的直线对称。

4.根据权利要求3所述的镜头组安装组件，其中，所述基座限定有多个通向其底部的通孔，所述定位光路镜头组、所述入射镜头组、所述反射镜头组和所述可观测光路镜头组均分别被安装到各个通孔内。

5.根据权利要求1所述的镜头组安装组件，其中，还包括备用观测光路镜头组，其安装到所述基座上，用于与所述可观测光路镜头组可替换地对经由至少两个检测光路镜头组的一个的成像预观测。

6.根据权利要求1所述的镜头组安装组件，其中，所述待测元件为半导体晶圆。

7.根据权利要求1所述的镜头组安装组件，其中，所述定位光路镜头组、每个所述检测光路镜头组和／或所述可观测光路镜头组包括光学调节组件，所述光学调节组件包括以下元件：

调节压圈，其耦接到对应的镜头组以沿光轴方向调节对应的镜头组的焦距；

锁紧压圈，其与所述调节压圈是可互锁的以锁定对应的镜头组；

陶瓷垫圈或压电陶瓷元件，其设置在所述调节压圈和对应的镜头组之间；

弹性元件，其设置在所述基座内并偏置对应的镜头组。

8.根据权利要求1所述的镜头组安装组件，其中，所述定位光路镜头组、检测光路镜头组和可观测光路镜头组的至少其中之一者具有角度调节结构，其用于调节对应的镜头组的光轴与所述基座的相对角度。

9.一种光学测量系统，其包括：

光源模块，其发出预定波长值或预定波长范围的光线；

入射模块，其对从所述光源模块发出的光线进行预处理；

镜头安装组件，如权利要求1-7任一项所述，来自所述入射模块的光线经由对应的镜头组投射到所述待测元件上再从对应的镜头组反射出去；

出射模块，其接收来自所述对应的镜头组的反射光线并进行后处理；以及

成像模块，其接收来自所述出射模块的光线并进行成像。

10.根据权利要求9所述的光学测量系统，其中，所述入射模块和出射模块包括准直光学元件、滤光元件、聚焦光学元件、散焦光学元件、偏振光学元件、验偏光学元件至少其中之一者。

11.根据权利要求9所述的光学测量系统，其中，所述成像模块包括光谱仪和图像传感器至少其中之一者。

12.根据权利要求9-11任一项所述的光学测量系统，其中，包括4组所述检测光路镜头组。