[发明专利]真空蒸发装置

权利要求书

1.一种真空蒸发装置，包括：

驱动单元；

线性移动部，连接至所述驱动单元以线性移动；

旋转移动部，直接连接至所述线性移动部以旋转移动；以及

遮板部，连接至所述旋转移动部以枢转；

其中，所述线性移动部包括：

移动部，与所述驱动单元连接以线性移动；

传递部，与所述移动部连接；以及

移动块，与所述传递部连接，从而与所述移动部一起线性移动；以及

其中，所述线性移动部的所述移动块与所述旋转移动部直接连接，从而在所述移动块向上或向下进行所述线性移动时，使所述旋转移动部相应旋转。

2.如权利要求1所述的真空蒸发装置，其中所述驱动单元为具有可变长度的致动器。

3.如权利要求1所述的真空蒸发装置，还包括：

固定部，所述遮板部被安装在所述固定部中以枢转并且所述线性移动部连接至所述固定部以滑动。

4.如权利要求3所述的真空蒸发装置，还包括：

第一引导件，位于所述固定部与所述线性移动部之间以引导所述线性移动部的滑动。

5.如权利要求1所述的真空蒸发装置，其中：

所述旋转移动部包括正齿轮；以及

所述移动块包括齿条，所述齿条随同所述旋转移动部操作。

6.如权利要求1所述的真空蒸发装置，其中所述旋转移动部包括：

第一旋转部，与所述线性移动部的所述移动块连接以在所述线性移动部的运动期间旋转；以及

第二旋转部，与所述第一旋转部和所述遮板部连接，所述第二旋转部将所述第一旋转部的旋转传递至所述遮板部。

7.如权利要求1所述的真空蒸发装置，其中所述遮板部的表面是丝网形式。

8.如权利要求1所述的真空蒸发装置，其中所述遮板部包括：

第一遮板体部；以及

第二遮板体部，从所述第一遮板体部弯曲。

9.如权利要求8所述的真空蒸发装置，其中所述遮板部包括：

加固肋，与所述第一遮板体部和所述第二遮板体部连接。

10.如权利要求1所述的真空蒸发装置，还包括：

第一减震部，位于所述线性移动部中。

11.如权利要求10所述的真空蒸发装置，其中所述第一减震部包括：

第一固定支架，固定于所述线性移动部中；以及

第一减震构件，位于所述第一固定支架中。

12.如权利要求11所述的真空蒸发装置，还包括：

第二减震部，与所述线性移动部隔开。

13.如权利要求12所述的真空蒸发装置，其中所述第二减震部包括：

第二固定支架，固定在所述第二减震部的外部；以及

第二减震构件，位于所述第二固定支架中。

14.如权利要求4所述的真空蒸发装置，还包括第二引导件，所述第二引导件位于所述线性移动部中以引导所述线性移动部的运动。