[发明专利]焊料印刷机及焊料印刷机的掩模的污浊检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及经由掩模的图案孔在基板上印刷焊料的焊料印刷机及焊料印刷机的掩模的污浊检查方法。

背景技术

焊料印刷机构成为，通过使具有图案孔的掩模与基板接触，使涂刷器在掩模上滑动而将掩模上的焊料刮拢在一起，由此，经由图案孔在基板上转印焊料之后，使基板从掩模分离，在基板上印刷焊料。

在这种焊料印刷机中，每当对基板进行焊料印刷时，焊料就附着在掩模的图案孔内，在这种焊料向图案孔内的附着进行时，图案孔的开口区域逐渐减小，焊料相对于基板的印刷精度变差。因此，目前公知的是，通过摄像装置对在基板上印刷了焊料后的掩模进行拍摄，基于所得到的图像检测焊料的状态并进行掩模的污浊检查，结果是，在该污浊程度超过允许限度的情况下，要实施掩模清洗（例如，专利文献1）。

专利文献1：日本特开平8－99401号公报

但是，在上述现有的掩模的污浊检查方法中，存在在掩模的表面具有划痕的情况下，有可能在所得到的图像中将划痕误认为焊料，难以进行高精度的掩模的污浊检查这样的问题。

发明内容

因此，本发明其目的在于提供一种焊料印刷机及焊料印刷机的掩模的污浊检查方法，即使在掩模的表面具有划痕的情况下，也能够进行高精度的掩模的污浊检查。

本发明第一方面提供一种焊料印刷机，通过使具有图案孔的掩模与基板接触，并且使涂刷器在所述掩模上滑动而将所述掩模上的焊料刮拢在一起，由此，经由所述图案孔将所述焊料转印到所述基板上之后，使所述基板从所述掩模分离，在所述基板上印刷所述焊料，其中，具备：第一照明装置，其将在所述基板上印刷了所述焊料后的所述掩模的包含所述图案孔在内的区域作为检查部位，从相对于所述掩模的第一方向对该检查部位进行照明；第二照明装置，其从与相对于所述掩模的第一方向不同的第二方向对所述检查部位进行照明；摄像装置，其通过在由所述第一照明装置将所述检查部位照明的状态下对所述检查部位进行拍摄，从而取得可将附着于所述检查部位内的所述图案孔周围的焊料及该焊料的内部区域与其它的区域区别开的第一图像，并且通过在由所述第二照明装置将所述检查部位照明的状态下对所述检查部位进行拍摄，从而取得可将所述检查部位内的焊料的区域与其它区域区别开的第二图像；焊料状态检测装置，其通过取得将基于所述摄像装置的拍摄而取得的所述第一图像和所述第二图像叠加的叠加图像，由此，检测所述掩模的焊料的状态。

本发明第二方面的焊料印刷机，在第一方面的基础上，所述摄像装置由单色拍摄型摄像装置构成。

本发明第三方面的焊料印刷机，在第一或第二方面的基础上，第一照明装置及第二照明装置的光源分别由LED构成。

本发明第四方面的焊料印刷机，在第一或第二方面的基础上，相对于所述掩模的所述第一方向为与所述掩模垂直的垂直方向。

本发明第五方面提供一种焊料印刷机的掩模的污浊检查方法，通过使具有图案孔的掩模与基板接触，并且使涂刷器在所述掩模上滑动而将所述掩模上的焊料刮拢在一起，由此，经由所述图案孔将所述焊料转印到所述基板上之后，使所述基板从所述掩模分离，在所述基板上印刷所述焊料，其中，包含：第一图像取得工序，将在所述基板上印刷了所述焊料后的所述掩模的包含所述图案孔在内的区域作为检查部位，通过在从相对于所述掩模的第一方向将该检查部位照明的状态下对所述检查部位进行拍摄，从而取得可将附着于所述检查部位内的所述图案孔周围的焊料及该焊料的内部区域与其它区域区别开的第一图像；第二图像取得工序，通过在从与相对于所述掩模的所述第一方向不同的第二方向将所述检查部位照明的状态下对所述检查部位进行拍摄，从而取得可将所述检查部位内的焊料区域与其它区域区别开的第二图像；焊料状态检测工序，通过取得使在所述第一图像取得工序取得的所述第一图像和在所述第二图像取得工序取得的所述第二图像叠加的叠加图像，检测所述掩模的焊料的状态。

在本发明中，通过取得将在从相对于掩模的第一方向照明检查部位的状态下拍摄得到的第一图像（可将附着于检查部位内的图案孔的周围的焊料及该焊料的内部区域与其它区域区别开的图像）、和在从与相对于掩模的上述第一方向不同的第二方向照明检查部位的状态下拍摄得到的第二图像（可将检查部位内的焊料的区域与其它区域区别开的图像）叠加的叠加图像，检测掩模的焊料的状态。即使在掩模的表面具有划痕，第一图像和第二图像中的一图像表现出划痕的情况下，也能够在另一图像不表现该划痕，由于能够从叠加图像去除划痕，因此，即使在掩模的表面具有划痕的情况下，也不会将其误认为焊料，能够进行高精度的掩模的污浊检查。

附图说明