[发明专利]光刻胶内袋无效
申请号: | 201310467135.4 | 申请日: | 2013-10-09 |
公开(公告)号: | CN103496513A | 公开(公告)日: | 2014-01-08 |
发明(设计)人: | 张为腾;朱棋锋;吴康成 | 申请(专利权)人: | 上海和辉光电有限公司 |
主分类号: | B65D83/00 | 分类号: | B65D83/00 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 李昕巍;吕俊清 |
地址: | 201500 上海市金山区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光刻 胶内袋 | ||
技术领域
本发明涉及一种用于盛放光刻胶的光刻胶内袋。
背景技术
在光刻加工中,需要大量使用光刻胶,光刻胶存放在如图1A所示的光刻胶桶10’内供需要进行光刻加工的面板商使用。具体来说,在光刻胶生产和封装过程中,光刻胶生产商先把光刻胶内袋转入到光刻胶桶10’中,然后再把光刻胶注入光刻胶内袋中后用盖体C’进行密封,面板生产商从光刻胶生产商购入光刻胶后,连同光刻胶桶10’一起放入光刻机并通过接口11’接入到生产线管路中。一台光刻机一般会有两桶光刻胶交替使用。
光刻胶桶的内部结构图如图1B所示,光刻胶内袋的结构如图1C所示,如图1B和图1C所示,光刻胶内袋1’通常由塑料等柔性材料制成,现有的光刻胶内袋1’填充满光刻胶后类似圆柱体,其上部具有开口部2’,开口部2’密封连接一根汲取管3’,汲取管3’从开口部2’伸入光刻胶内袋1’的底部。光刻胶供应时,从光刻胶桶10’的光刻胶出口部12’内壁和汲取管3’外侧间充入干燥气体,使气体进入到光刻胶桶内壁10’和光刻胶内袋1’外部之间,从而洁净干燥气体挤压光刻胶内袋1’,光刻胶受到挤压后经由汲取管3’从光刻胶内袋1’上方的开口部2’挤出从而接入到生产线。
然而,光刻胶快使用完毕时,光刻胶内袋1’受到挤压由填满时的圆柱体变为干扁的长方形,底部的光刻胶残留在袋内四周,造成光刻胶的浪费;再者,在上述挤压过程中圆柱体形状的光刻胶内袋1’会产生褶皱,褶皱中容易残留光刻胶,长年累月积累,这样废弃的光刻胶也是不小的浪费。
此外,光刻胶分为普通光刻胶和有机光刻胶,普通光刻胶价格相对不高,启封后保质期也相对较长,而有机光刻胶价格非常昂贵,启封之后保质期非常短。所以针对有机光刻胶而言,现有的光刻胶内袋1’容量较大,,经常会出现保质期内无法用完的情况,这也造成了有机光刻胶的浪费。
发明内容
本发明的目的是提出一种光刻胶内袋,以解决现有技术中光刻胶被浪费的问题。
为实现上述目的,本发明提出一种光刻胶内袋,包括袋体、开口部和汲取管,其中,所述袋体用于盛放光刻胶,并包括上部和下部,所述开口部开设于所述上部的顶端,并具有光刻胶出口,所述下部呈锥形渐缩,所述汲取管连通于所述光刻胶出口并伸入所述袋体,并延伸至所述下部的底端。
在本发明的光刻胶内袋的一实施例中,所述袋体为锥体,并包括顶面和侧面,所述开口部位于所述顶面。
在本发明的光刻胶内袋的一实施例中,所述袋体的所述下部为锥体,所述下部的底端形成尖角。
在本发明的光刻胶内袋的一实施例中,所述袋体的所述下部为锥台。
在本发明的光刻胶内袋的一实施例中,所述袋体的所述下部的底端形成圆角。
在本发明的光刻胶内袋的一实施例中,所述袋体的所述上部为圆柱体。
在本发明的光刻胶内袋的一实施例中,所述袋体的所述上部为长方体。
在本发明的光刻胶内袋的一实施例中,所述光刻胶内袋设置在光刻机的光刻胶桶内,所述光刻胶桶具有顶部开口,所述光刻胶内袋的所述开口部固定连接于所述光刻胶桶的顶部,并且光刻胶能够从所述顶部开口挤出,气体能够从所述顶部开口进入所述光刻胶桶内,并从所述内袋的外部挤压所述内袋以挤出所述光刻胶。
在本发明的光刻胶内袋的一实施例中,所述袋体为塑料材质的袋体。
本发明的光刻胶内袋的由于袋体的下部具有渐缩的截面积,光刻胶快要用尽时能够沿着倾斜的下部流到袋体的的底端,集中于袋体的底部,这样可以避免现有技术中光刻胶的浪费,同时在袋体被挤压的过程中也能减少褶皱,避免光刻胶残留在褶皱中造成浪费。
附图说明
图1A所示为光刻胶桶的示意图。
图1B所示为光刻胶桶及现有的光刻胶内袋的局部剖视示意图。
图1C所示为现有的光刻胶内袋的示意图。
图2所示为本发明一实施例的光刻胶内袋的示意图。
图3所示为图2所示的实施例的光刻胶内袋置入光刻胶桶的示意图。
图4所示为本发明另一实施例的光刻胶内袋的示意图。
具体实施方式
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