[发明专利]过滤器滤材和过滤器滤材的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于捕集被过滤气体所含有的颗粒的过滤器滤材及其制造方法，特别是涉及对构成为能够捕集该颗粒的滤材原材进行褶锏加工而成的过滤器滤材。

背景技术

以往，作为在制造半导体、液晶的工厂的无尘室等中使用的过滤器滤材，公知有图5所示那样的过滤器滤材100（参照专利文献1）。该过滤器滤材100是通过对构成为能够捕集被过滤气体所含有的颗粒的滤材原材200在多处弯曲而形成为皱襞状而成的。

该过滤器滤材100包括通过使滤材原材200弯曲而形成的多个弯曲部100a、以滤材原材200中的除弯曲部100a之外的区域相对的方式配置而形成的多个平板部100b、以及用于保持相邻的平板部100b、100b彼此的间隔的多个间隔保持部300。

该间隔保持部300由多个肋（bead）部300a形成，肋部300a是通过在滤材原材200的两个面上空开间隔地涂敷粘接剂（热熔胶等）而形成的。具体地讲，间隔保持部300是通过在滤材原材200的一面侧中的各平板部100b之间及另一面侧中的各平板部100b之间将形成于各平板部100b的肋部300a彼此接合而形成的。也就是说，间隔保持部300形成在滤材原材200的一面侧中的各平板部100b之间及另一面侧中的各平板部100b之间。

此外，形成在滤材原材200一面侧的间隔保持部300和形成在另一面侧的间隔保持部300构成为隔着平板部100b而不会重叠。具体地讲，滤材原材200的一面侧的间隔保持部300沿着弯曲部100a空开间隔地配置有多个，滤材原材200的另一面侧的间隔保持部300配置在相邻的一面侧的间隔保持部300、300之间。由此，与在平板部100b的整个区域中形成肋部300a来形成间隔保持部300的情况相比，粘接剂的使用量降低。

另外，有时对上述那样的过滤器滤材100施加使平板部100b彼此的间隔缩窄这样的力（具体地讲，沿着与平板部100b交叉的方向压缩过滤器滤材100的力）（以下也记作压缩方向上的力）。例如，在过滤器滤材100收容在袋体中的情况下，有时成为利用袋体对过滤器滤材100施加有压缩方向上的力的状态。此外，在以平板部100b成为大致水平的状态的方式保管过滤器滤材100的情况下，成为利用自重对过滤器滤材100施加有压缩方向上的力的状态。

而且，若维持对过滤器滤材100施加有压缩方向上的力的状态，则有可能使过滤器滤材100固定成平板部100b彼此的间隔较窄的状态。

具体地讲，在被施加压缩方向上的力之前的过滤器滤材100中，如图6的（a）所示，利用间隔保持部300保持着平板部100b彼此的间隔，但通过对过滤器滤材100施加压缩方向上的力，如图6的（b）所示，滤材原材200的一面侧的间隔保持部300和滤材原材200的另一面侧的间隔保持部300会沿着压缩方向接近。由此，在各平板部100b中产生变形，各平板部100b彼此的间隔变窄。而且，若对过滤器滤材100施加有压缩方向上的力的状态持续下去，则有可能各平板部100b的形状不会恢复为变形之前的状态（对过滤器滤材100施加压缩方向上的力之前的状态）而固定成平板部100b彼此的间隔较窄的状态。

这样，若各平板部100b彼此的间隔变窄，则过滤器滤材100的沿着压缩方向的方向上的尺寸变得短于期望的尺寸。因此，例如在将过滤器滤材100安装在模板上而形成过滤器单元时，在过滤器滤材100和模板之间产生间隙，成为密闭性不良的过滤器单元。此外，由于各平板部100b之间的间隔变窄，也有可能导致过滤器滤材100的压力损失变大。

专利文献1：日本特开平09－313856号公报

发明内容

因此，本发明的课题在于，提供能够防止在撤除了持续地施加的压缩方向上的力时沿着压缩方向的方向上的尺寸变得短于压缩前的尺寸的过滤器滤材及其制造方法。

本发明的过滤器滤材包括：

多个弯曲部，该多个弯曲部是通过将构成为能够捕集被过滤气体所含有的颗粒的滤材原材弯曲成皱襞状而形成的；

多个平板部，该多个平板部是通过将滤材原材中的除弯曲部之外的区域以相对的方式配置而形成的；以及

多个间隔保持部，多个间隔保持部构成为配置在滤材原材的一面侧中的各平板部和另一面侧中的各平板部之间而用于保持相邻的弯曲部彼此的间隔，

该过滤器滤材的特征在于，

构成为配置在滤材原材的一面侧的各间隔保持部和配置在滤材原材的另一面侧的各间隔保持部隔着各平板部重叠。