[发明专利]一种优化光束质量提升激光加工效率的方法

说明书

技术领域

本发明涉及光学系统和激光加工系统的技术应用领域，特指一种优化激光光束质量的新方法，适用于高功率激光加工系统中。

背景技术

通常激光器发出的激光束的空间强度分布呈高斯分布，即高斯光束。在激光加工领域中，高斯光束的强度过于集中在中心部分，能量非均匀分布特性将会导致局部温度升高而破坏材料特性。因此，激光光束的能量分布不均匀特性限制了其在加工领域的应用，很多场合可以将高斯光束转化为能量均匀分布的平顶光束，以消除不良影响。

随着生产的发展，对大功率激光加工技术不断地提出了新的要求，在某些特定条件下需要不同形状的激光光斑。在激光加工技术中，过去光束经过聚焦以后再进行扫描，这样每扫描一次的光束宽度有限，工作效率不高；而且由于两次扫描线有搭接，产生了“搭接效应”，搭接部分的硬度低于不搭接的部分；此外由于光束的中央部分的能量高于四周，影响了加工质量。为了克服以上缺点，比较有效的方法是把激光器输出的圆形光斑变换为均匀光强分布的线光斑(矩形光斑)，这样就可以大大提高工作效率，并取得较好的结果。

专利号为CN 202434878 U的中国专利公开了一种大功率高光束质量的激光器，它包括泵浦光源、光学谐振腔、声光调Q开关、热沉、风扇和钇铝石榴石晶体介质（Nd：YAG）。该激光器改变了Nd：YAG介质的外形，抑制在振荡过程中产生的高阶膜，提高光束质量，增加激光准直程度。同时增加声光调Q开关，使得功率提升。专利号为CN 101034878 A的中国专利公开了一种用于提高输出光束质量的脉冲激光器，该激光器包括泵浦源、激光增益介质、可饱和吸收器件、腔镜。通过改变可饱和吸收器件沿径向的损耗，可有效地抑制高阶横模，提高光束质量。具有简单有效、工作稳定可靠的优点。但是这两个专利都没有从根本上解决激光光束质量差、激光能量分布不均的技术问题。

发明内容

本发明的目的是为了解决普通激光光束能量分布不均匀，激光光束质量差造成在激光加工中因材料的局部温度升高过快而破坏材料自身特性的技术难题，提供一种优化激光光束质量的新方法。

本发明所采用的技术方案是：一种优化激光光束质量的新方法，包含如下步骤：

A 采用伽利略型非球面镜组的整形系统将呈高斯分布的圆形激光光斑优化整形为呈超高斯平顶分布的圆形激光光斑；所述伽利略型非球面镜组的整形系统是在伽利略型非球面镜组的前端增设一组可变倍扩束镜组；用来实现将高斯激光光束的束腰半径满足所述伽利略型非球面镜组所要求的输入高斯光束的束腰半径；在伽利略型非球面镜组的后端依次增设一组定倍扩束镜组A和一组定倍扩束镜组B；所述定倍扩束镜组A倒置在所述伽利略型非球面镜组的后端，用来实现对所述伽利略型非球面镜组输出的超高斯平顶光束进行扩束，所述定倍扩束镜组B正置在所述定倍扩束镜组A后端，用来实现对所述定倍扩束镜组A输出的超高斯平顶光束进行缩束；

B 将步骤A中呈超高斯平顶分布的圆形激光光斑通过光斑变换器件，所述呈超高斯平顶分布的圆形激光光斑在所述光斑变换器件的作用下转换为呈超高斯平顶分布的线光斑；所述光斑变换器件包括能够将激光的偏振态转过90度的半波片、第一柱透镜和第二柱透镜，所述第一柱透镜和第二柱透镜并列平行放置在所述半波片后端。

上述方案中，所述可变倍扩束镜组依次由第一平凸镜1、平凹镜2和第二平凸镜3组成；其具体变倍过程为：固定所述平凹镜2不动，调整所述第一平凸镜1与所述第二平凸镜3，使通过所述可变倍扩束镜组的高斯激光光束的束腰半径与所述伽利略型非球面镜组所要求的输入高斯光束的束腰半径相等。

上述方案中，所述第一平凸镜1与所述平凹镜2之间的距离d₁₂，所述平凹镜2与所述第二平凸镜3之间的距离d₂₃的调整由如下公式决定：

  ①  

②

上式中，、为正值时表示所述第一平凸镜1与所述第二平凸镜3向右移动，、为负值时表示所述第一平凸镜1与所述第二平凸镜3向左移动；、为所述第一平凸镜1的焦距，取正值；为所述平凹镜21的焦距，取负值；为所述第二平凸镜3的焦距，取正值。