[发明专利]一种超高温双层水冷石英管真空室用双密封结构

权利要求书

1.一种超高温双层水冷石英管真空室用双密封结构，其包括有一双层石英管嵌套结构，该双层石英管嵌套结构包括：一外层石英管及内嵌于外层石英管中的内层石英管，其中，该内、外层石英管之间形成一环形空腔，其特征在于：所述的双层石英管嵌套结构两端分别通过一不锈钢密封组件固定装配，令内、外层石英管之间相互隔绝；所述不锈钢密封组件包括：用于密封所述外层石英管的第一不锈钢法兰盘和第一不锈钢紧固圆环以及用于密封内层石英管的第二不锈钢法兰盘和第二不锈钢紧固圆环，该第二不锈钢法兰盘外侧以可拆装的方式紧密安装有一用于打开或闭合所述内层石英管的内腔的不锈钢盖；所述的不锈钢密封组件中设置有至少一个连通所述环形空腔的水冷端口；所述第二不锈钢法兰盘的内壁与内层石英管外壁之间形成有泄露水汽真空隔离区，该第二不锈钢法兰盘上设置有至少一个与该泄露水汽真空隔离区连通的抽气管。

2.根据权利要求1所述的一种超高温双层水冷石英管真空室用双密封结构，其特征在于：所述第一不锈钢法兰盘中开设有用于装配的第一通孔，该第一通孔包括：与所述外层石英管端部配合的第一安装位以及与第二不锈钢法兰盘配合并供所述内层石英管穿过的第二安装位，该第一安装位与所述的环形空腔连通，且该第一安装位的前端面及第二安装位的后端面处分别形成有用于安装密封件的第一倒角和第二倒角。

3.根据权利要求2所述的一种超高温双层水冷石英管真空室用双密封结构，其特征在于：所述第一不锈钢法兰盘的上端设置有至少一个连通所述第一安装位的水冷端口。

4.根据权利要求3所述的一种超高温双层水冷石英管真空室用双密封结构，其特征在于：所述的第一不锈钢紧固圆环紧密固定于所述第一不锈钢法兰盘中第一安装位的前端面；所述的外层石英管镶嵌于第一不锈钢法兰盘的第一安装位中，所述的第一不锈钢紧固圆环与第一不锈钢法兰盘上第一安装位端口的第一倒角之间设置有第一密封圈，令外层石英管的端部密封安装于第一不锈钢法兰盘中。

5.根据权利要求1所述的一种超高温双层水冷石英管真空室用双密封结构，其特征在于：所述的第二不锈钢法兰盘安装于第一不锈钢法兰盘的后端，并与第一不锈钢法兰盘上第二安装位端口的第二倒角之间设置有第二密封圈，令第二不锈钢法兰盘与第一不锈钢法兰盘形成紧密装配。

6.根据权利要求5所述的一种超高温双层水冷石英管真空室用双密封结构，其特征在于：所述的第二不锈钢法兰盘中心位置开设有第二通孔，该第二通孔包括：与所述内层石英管端部配合的第三安装位以及与第三安装位连通的容腔，其中该第三安装位相对安装有第一不锈钢法兰盘的另一端设置有用于安装密封件的第三倒角。

7.根据权利要求6所述的一种超高温双层水冷石英管真空室用双密封结构，其特征在于：所述的第二不锈钢紧固圆环固定于第二不锈钢法兰盘中容腔的底部；所述的内层石英管镶嵌于第二不锈钢法兰盘的第三安装位中，并伸进第二不锈钢法兰盘中的容腔中，且第二不锈钢紧固圆环与第二不锈钢法兰盘中第三倒角之间设置有第三密封圈。

8.根据权利要求7所述的一种超高温双层水冷石英管真空室用双密封结构，其特征在于：所述的第二不锈钢法兰盘下端设有用以维持内层石英管内部腔室真空度的抽气口，该抽气口与第二不锈钢法兰盘中的容腔连通。

9.根据权利要求1-8任意一项所述的一种超高温双层水冷石英管真空室用双密封结构，其特征在于：所述的第二不锈钢法兰盘与不锈钢盖之间设置有密封垫圈。

10.根据权利要求1-8任意一项所述的一种超高温双层水冷石英管真空室用双密封结构，其特征在于：所述的不锈钢密封组件设有水冷结构。