[发明专利]一种大数值孔径的投影光学系统

权利要求书

1.一种大数值孔径的投影光学系统，用于将位于物平面的图案投影到像平面上，所述大数值孔径的投影光学系统包括第一透镜组（G1）、第二透镜组（G2）、第三反射镜组（G3）、第四透镜组（G4）和第五透镜组（G5），其特征在于：从光束入射方向的第一透镜组（G1）没有光焦度，第二透镜组（G2）具有正光焦度，第三反射镜组（G3）具有负光焦度，第四透镜组（G4）具有正光焦度，第五透镜组（G5）具有正光焦度，所述大数值孔径的投影光学系统包含了25片透镜和两片反射镜，且包含有非球面表面。

2.如权利要求1所述的大数值孔径的投影光学系统，其特征在于：所述的第一透镜组（G1）为一块平行平板。

3.如权利要求1所述的大数值孔径的投影光学系统，其特征在于：所述的第二透镜组（G2）包括第一双凸正透镜（2）、第一弯月负透镜（3）、第二双凸正透镜（4）、第二弯月负透镜（5）、第三双凸正透镜（6）、第一弯月正透镜（7）、第二弯月正透镜（8）、第三弯月正透镜（9）、第四弯月正透镜（10）和第三弯月负透镜（11）。

4.如权利要求1所述的大数值孔径的投影光学系统，其特征在于：所述的第三反射镜组（G3）包括第一反射镜（12）、第二反射镜（13）两个凹面反射镜。

5.如权利要求1所述的大数值孔径的投影光学系统，其特征在于：所述的第四反射镜组（G4）包括第四双凸正透镜（14）、第四弯月负透镜（15）、第一双凹负透镜（16）、第五弯月负透镜（17）、第五弯月正透镜（18）、第六弯月正透镜（19）、第七弯月正透镜（20）、第八弯月正透镜（21）和第六弯月负透镜（22）。

6.如权利要求1所述的大数值孔径的投影光学系统，其特征在于：所述的第五反射镜组（G5）包括第五双凸正透镜（23）、第九弯月正透镜（24）、第十弯月正透镜（25）、第十一弯月正透镜（26）和第一平凸正透镜（27）。

7.如权利要求1所述的大数值孔径的投影光学系统，其特征在于：所述的第四反射镜组（G4）和第五反射镜组（G5）之间设置有一孔径光阑。

8.如权利要求1所述的大数值孔径的投影光学系统，其特征在于：第一透镜组（G1）、第二透镜组（G2）、第四透镜组（G4）和第五透镜组（G5）均采用SIO₂玻璃。

9.如权利要求1所述的大数值孔径的投影光学系统，其特征在于：所述大数值孔径投影光学系统为双远心系统。

10.如权利要求1所述的大数值孔径的投影光学系统，其特征在于：所述的大数值孔径投影光学系统适用于深紫外照明光源，波长为157nm、193.3nm或248nm的光源。