[发明专利]一种薄膜应力量测方法及量测装置

权利要求书

1.一种薄膜应力量测方法，其特征在于，所述的方法包括以下步骤： 

步骤（10）将至少两束激光投射到待量测的薄膜上； 

步骤（20）检测器检测所述的至少两束激光从所述的薄膜上反射后的反射光； 

步骤（30）根据至少两束激光反射光的反射角分别计算出对应各反射光测出的薄膜应力以及各反射光的反射角之间的差值Δα； 

步骤（40）基于所述差值Δα对上述各束反射光测出的薄膜应力进行修正。 

2.根据权利要求1所述的薄膜应力量测方法，其特征在于，所述的步骤（10）具体包括以下步骤： 

步骤（11）将一束激光投射到一分光器上； 

步骤（12）所述的分光器将所述的一束激光分为至少两束激光投射到一反射镜组； 

步骤（13）所述的反射镜组将所述的至少两束激光经过反射后投射到所述的待量测的薄膜上。 

3.根据权利要求1或2所述的薄膜应力量测方法，其特征在于，所述的检测器包括相互连接的激光接收单元和计算控制单元；所述步骤（20）进一步包括：所述的激光接收单元接收到从所述的薄膜上反射的至少两束反射光； 

所述步骤（30）进一步包括：所述的计算控制单元根据多束反射光的反射角计算薄膜应力及反射角之间的差值Δα，并基于差值Δα修正薄膜应力。 

4.根据权利要求3所述的薄膜应力量测方法，其特征在于，所述的各束反射光的光路上还设置有旋转镜组，所述的旋转镜组连接所述的计算控制单元；所述的步骤（20）具体包括以下步骤： 

步骤（21）所述的反射光投射到所述的旋转镜组上； 

步骤（22）所述的反射光经所述的旋转镜组折射后投射到所述的激光接收单元。 

5.根据权利要求3所述的薄膜应力量测方法，其特征在于，所述的待量测的薄膜覆盖于基板上，所述的步骤（30）具体包括以下步骤： 

步骤（31）所述的计算控制单元控制所述的旋转镜组的旋转角度，使超 出所述的激光接收单元量程的反射光投射到所述的激光接收单元； 

步骤（33）所述的计算控制单元根据所述的旋转镜组的旋转角度、旋转镜组的折射比例、反射光的接收角度以及各束反射光反射角之间的差值Δα计算并修正薄膜应力。 

6.根据权利要求5所述的薄膜应力量测方法，其特征在于，所述的激光接收单元接收到从所述的薄膜上反射的至少三束反射光，所述的方法在步骤（31）与步骤（33）之间还包括以下步骤： 

步骤（32）所述的计算控制单元对接收到的至少三束反射光进行比对，判断基板坏点，并剔除坏点。 

7.一种薄膜应力量测装置，其特征在于，包括： 

激光发射器，用以将至少两束激光投射到待量测的薄膜上；以及 

检测器，用以检测所述的至少两束激光从所述的薄膜上反射后的反射光，并根据多束反射光反射角之间的差值Δα修正薄膜应力。 

8.根据权利要求7所述的薄膜应力量测装置，其特征在于，还包括： 

分光器，用以将所述的激光发射器发射出的一束激光分为至少两束激光并投射出去；以及 

反射镜组，用以将所述的分光器投射出的至少两束激光经过反射后投射到所述的待量测的薄膜上。 

9.根据权利要求7或8所述的薄膜应力量测装置，其特征在于，所述的检测器包括相互连接並用以接收到从所述的薄膜上反射的反射光的激光接收单元和用以根据多束反射光反射角之间的差值Δα修正薄膜应力的计算控制单元。 

10.根据权利要求9所述的薄膜应力量测装置，其特征在于，还包括： 

旋转镜组，设置于所述的多束反射光的光路上并连接所述的计算控制单元，用以将所述的反射光折射后投射到所述的激光接收单元，并在所述的计算控制单元的控制下将超出所述的激光接收单元量程的反射光投射到所述的激光接收单元。