[发明专利]一种大口径凹非球面反射镜顶点法线光学引出方法

权利要求书

1.一种大口径凹非球面反射镜顶点法线光学引出方法，其特征在于包括下列步骤：

1）将光学干涉仪（1）、标准球面反射镜（2）、被测凹非球面反射镜（3）、经纬仪（4）从左到右依次同轴放置，且标准球面反射镜（2）的球心与被测凹非球面反射镜（3）的焦点重合；

2）调整被测凹非球面反射镜（3）的俯仰、倾斜，在水平和竖直方向平移调整被测凹非球面反射镜（3）和标准球面反射镜（2），使得光学干涉仪（1）接收到由被测凹非球面反射镜（3）反射回来的光束波前的Zernike多项式拟合系数的第5、6项系数值为0～0.04λ，第7、8项系数值为0～0.02λ，其中λ为光学干涉仪（1）发出的光的波长；

3）记录光学干涉仪（1）接收到的由被测凹非球面反射镜（3）反射回来的光束波前的Zernike多项式拟合系数的第5、6项系数和第7、8项系数的具体值；建立光路模型，将被测凹非球面反射镜（3）的俯仰角度、倾斜角度，以及被测凹非球面反射镜（3）和标准球面反射镜（2）的水平、竖直方向的平移量作为变量，将模型出瞳处的Zernike多项式拟合系数的第5、6项系数以及第7、8项系数作为优化操作数进行优化，得到被测凹非球面反射镜（3）相对于光学干涉仪（1）出射的平行光束方向的俯仰和倾斜的实际角度，以及被测凹非球面反射镜（3）相对于光学干涉仪（1）出射的平行光束方向的水平和竖直方向的实际平移量；

4）对步骤3）优化得到的被测凹非球面反射镜（3）相对于光学干涉仪（1）出射的平行光束方向的俯仰和倾斜的实际角度进行判断；如果该实际角度不满足法线引出精度阈值，则跳回至步骤2）；直至得到满足法线引出精度的角度，并进入步骤5）；

5）利用经纬仪（4）瞄光学干涉仪（1）出射的平行光束，记录经纬仪的读数，并作为被测凹非球面反射镜（3）顶点法线方向的水平和俯仰角度。