[发明专利]超声波转换器装置、探测头、超声波探测器及电子设备

说明书

技术领域

本发明涉及超声波转换器（transducer）装置、探测头、超声波探测器、电子设备及超声波诊断装置。

背景技术

作为用于向目标物照射超声波并接收目标物内部的声阻抗从不同的界面发送的反射波的装置，已知例如用于检查人体内部的超声波诊断装置。作为超声波诊断装置所使用的超声波转换器装置，例如在专利文献1中公开有在基板上形成包括压电体层和电极层的转换器元件的方法。

【现有专利文献】

【专利文献】

专利文献1：日本特开2011-82624号公报

然而，这种方法为了在基板上设置多个开口，而存在基板的强度降低、因外部的压力而导致超声波转换器装置破损等问题。

发明内容

根据本发明的几种方式，可提供强度高，并可抑制元件性能下降的超声波转换器装置、探测头、超声波探测器、电子设备及超声波诊断装置等。

本发明的一个方面涉及的超声波转换器装置包括：阵列状设置有多个开口的基板；在所述基板的第一面，对多个所述开口的各个开口设置有各超声波转换器装置元件的多个超声波转换器元件；固定在所述基板的所述第一面的相反侧的面即第二面且对所述基板进行加强的加强部件，在所述加强部件上设置有与所述基板的多个所述开口相对形成的多个第一槽部、以及使多个所述第一槽部汇聚在一起的第二槽部。

根据本发明的一个方面，加强部件被固定于基板的第二面，因此可提高超声波转换器元件及基板的强度。而且，多个开口可通过第一槽部相互连通，进一步通过由第二槽部使多个第一槽部汇聚在一起，从而多个第一槽部可相互连通。

而且，本发明的另一方面中，所述加强部件具有连通所述第二槽部和外部空间的沿所述加强部件的厚度方向贯通的贯通孔，多个所述第一槽部、所述第二槽部及所述贯通孔也可以形成将所述基板的所述开口和所述外部空间相互连通的通风路径。

据此，可确保开口不被密封地与外部空间之间通风，因此可避免如下问题：例如实际动作时声压被限制而导致的元件性能下降、开口内的空气由于温度变化引起膨胀收缩，从而导致元件故障等。

而且，在本发明的另一方面中，在所述加强部件的与所述基板接合的面，在所述基板的所述开口区域的所述周边区域相对的区域也可以设置第三槽部，所述第三槽部与外部空间连通且与多个所述第一槽部及所述第二槽部中的任一个都不连通。

据此，通过设置第三槽部，从而在将加强部件粘结于基板时，可将加强部件和基板之间的空气排放至外部空间，因此能够提高加强部件和基板之间的贴紧性。

而且，在本发明的其他方面中，可以在所述加强部件的与所述基板接合的面，多个所述第一槽部在所述基板的开口区域相对的区域沿第一方向设置，在所述加强部件的与所述基板接合的面，所述第二槽部在所述基板的所述开口区域的周边区域相对的区域沿与所述第一方向交叉的第二方向设置，多个所述第一槽部中的各第一槽部的至少一端在所述基板的所述开口区域的所述周边区域相对的区域与所述第二槽部连接。

据此，可在加强部件的与基板接合的面，将多个第一槽部设置在基板的开口区域相对的区域，并将第二槽部设置在设有多个第一槽部的区域的周边的区域。而且，可将多个第一槽部的各第一槽部的一端和第二槽部连接。通过这样，第二槽部可使多个第一槽部汇聚在一起。

而且，在本发明的其他方面中，可以在所述加强部件的与所述基板接合的面，在所述基板的开口区域的周边区域相对的区域设置有第三槽部，该第三槽部与所述外部空间连通且与多个所述第一槽部及所述第二槽部中的任一个都不连通，所述第三槽部在所述加强部件的沿所述第一方向侧的端边或所述第一方向的相反侧的端边的区域沿所述第一方向设置、或者在所述加强部件的沿所述第二方向侧的端边或所述第二方向的相反侧的端边的区域沿所述第二方向设置，所述第三槽部的一端与多个所述第一槽部及所述第二槽部中的任一个都分离，所述第三槽部的另一端与所述加强部件的所述端边接合。

据此，可将第三槽部沿加强部件的四个端边配置，因此能够进一步提高加强部件和基板之间的贴紧性。

而且，在本发明的其他方面中，所述加强部件也可以相对于分隔阵列状配置的多个所述开口的各开口的隔壁部，在至少一个接合区域被接合。

据此，通过由加强部件约束隔壁部的移动，从而能够抑制隔壁部的振动。其结果是，可降低例如邻接的超声波转换器元件之间的串扰。