[发明专利]液滴喷射装置

权利要求书

1.一种液滴喷射装置，该装置包括：

一列流体腔室，每个流体腔室均由一对通过一定腔室壁间距相互分隔开的相对的可致动的腔室壁限定，并与用于从所述流体腔室喷射液滴的喷嘴流体连通，所述相对的可致动的腔室壁包括压电材料并在被施加电场时以V型构造的剪切模式变形，其中所述腔室壁的顶部和底部以相反方式变形；

盖件，该盖件接合至所述可致动的腔室壁的边缘，从而密封所述腔室的顶部，该盖件具有盖件厚度，所述喷嘴形成在所述盖件中；

其中，所述盖件的厚度小于150μm，并且其中所述盖件基本由聚合物形成。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述盖件远离所述腔室延伸而界定流体歧管区域。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其中各腔室均设有流体入口和流体出口，使得在使用过程中流体能够沿着各腔室的长度流动。

4.根据权利要求3所述的装置，还包括用于在使用所述装置的过程中提供通过各腔室的恒定流体流动的部件。

5.根据权利要求3或4所述的装置，还包括与各腔室的所述流体入口连通的入口歧管，以及与各腔室的所述流体出口连通的相对的出口歧管。

6.根据权利要求5所述的装置，其中所述盖件远离所述腔室延伸而界定所述入口歧管并远离所述腔室延伸而界定所述出口歧管。

7.根据权利要求1所述的装置，其中所述盖件的厚度小于100μm。

8.根据权利要求1所述的装置，其中所述盖件的杨氏模量小于100GPa。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的装置，其中所述盖件由聚酰亚胺形成。

10.根据权利要求1至8中任一项所述的装置，其中所述盖件由聚醚醚酮形成。

11.根据权利要求1至8中任一项所述的装置，其中所述盖件由光刻胶材料形成。

12.根据权利要求11所述的装置，其中所述光刻胶材料为SU-8。