[发明专利]将四氯化硅氢化成为三氯硅烷的方法

权利要求书

1.用于在反应器中使四氯化硅氢化的方法，其中首先利用至少一个由石墨制成的热交换器及随后利用至少一个由用SiC涂覆的石墨制成的加热元件将包含氢和四氯化硅的起始反应气体在4至15bar的压力下加热至大于900℃的温度，在此加热元件的温度为1150℃至1250℃，其特征在于，所述起始反应气体包含至少一种选自以下组中的硼化合物：乙硼烷、更高级硼烷、硼-卤素化合物和硼-甲硅烷基化合物，其中基于起始反应气体流，所有的硼化合物的浓度之和大于1ppmv。

2.根据权利要求1的方法，其中在所述反应器中使用的由石墨制成的逆流热交换器借助包含三氯硅烷、HCl和未反应的起始反应气体的热的产物气体加热所述起始反应气体。

3.根据权利要求1至2之一的方法，其中将硼化合物连同氢一起引入所述反应器中。

4.根据权利要求1至2之一的方法，其中将硼化合物连同四氯化硅一起引入所述反应器中。

5.根据权利要求1至2之一的方法，其中将硼化合物连同氢和四氯化硅引入所述反应器中。

6.根据权利要求3或权利要求5的方法，其中在氢中所有的硼化合物的浓度为至少4ppmv。

7.根据权利要求4或权利要求5的方法，其中在四氯化硅中所有的硼化合物的浓度为至少4ppmw。