[发明专利]感光性树脂组合物和固化膜有效
申请号: | 201310475632.9 | 申请日: | 2010-04-23 |
公开(公告)号: | CN103558734B | 公开(公告)日: | 2017-01-11 |
发明(设计)人: | 吉冈敬裕;佐佐木健了;藤城光一;板原俊英 | 申请(专利权)人: | 新日铁住金化学株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/027 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 金世煜,苗堃 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 固化 | ||
1.一种感光性树脂组合物,其特征在于,是以(i)光固化性树脂和/或光固化性单体、及(ii)丙烯酸树脂粒子为必须成分的感光性树脂组合物,(ii)成分的丙烯酸树脂粒子是经过表面酸处理的丙烯酸树脂粒子,并且一次粒径的平均值为50~200nm,所述组合物中的(ii)丙烯酸树脂粒子与(i)光固化性树脂和/或光固化性单体的重量比(ii)/(i)为0.1~2.0的范围。
2.一种感光性树脂组合物,其特征在于,是以(i)光固化性树脂和/或光固化性单体、及(ii)丙烯酸树脂粒子为必须成分进而含有(iii)从黑色有机颜料、混色有机颜料及遮光材料中选择的至少一种遮光性成分而成的感光性树脂组合物,(ii)成分的丙烯酸树脂粒子是经过表面酸处理的丙烯酸树脂粒子,并且一次粒径的平均值为50~200nm,所述组合物中的(ii)丙烯酸树脂粒子及(iii)遮光性成分的总重量与(i)光固化性树脂和/或光固化性单体的重量比(ii)+(iii)/(i)为0.1~2.0的范围。
3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其特征在于,(i)成分含有使下述通式(1)所表示的环氧化合物和(甲基)丙烯酸的反应产物进一步与多元羧酸或其酸酐发生反应得到的含不饱和基团化合物,
式(1)中,R1及R2独立地为氢原子、碳数1~5的烷基、苯基或卤原子中的任意一个,X独立地表示单键、-CO-、-SO2-、-C(CF3)2-、-Si(CH3)2-、-CH2-、-C(CH3)2-、-O-或下述式(2)表示的9,9-芴基,n为0~10的数,
4.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物,其特征在于,(iii)成分的遮光性成分是炭黑。
5.一种固化膜,其特征在于,是在将权利要求1~4中任意一项所述的感光性树脂组合物涂布到基板上并干燥之后以下述各工序为必须工序而得到的固化膜,即(a)利用紫外线曝光装置的曝光工序、(b)利用碱水溶液的显影工序、以及(c)热处理工序。
6.根据权利要求5所述的固化膜,其特征在于,体积电阻值为1010Ωcm以上。
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