[发明专利]狭小缝隙直线度与平面度的测量方法有效
申请号: | 201310477346.6 | 申请日: | 2013-10-14 |
公开(公告)号: | CN104567748B | 公开(公告)日: | 2018-06-01 |
发明(设计)人: | 刘晶;张拥军;徐瀛杰 | 申请(专利权)人: | 上海金艺检测技术有限公司 |
主分类号: | G01B11/27 | 分类号: | G01B11/27;G01B11/30 |
代理公司: | 上海天协和诚知识产权代理事务所 31216 | 代理人: | 张恒康 |
地址: | 201900 上海市宝山区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 测量 狭缝 平面度 光学测量设备 狭小缝隙 直线度 标靶 测量端子 测量面 下平面 采集 中辅助装置 可靠运行 安插 滑动 垂直度 阶梯面 上平面 外端面 圆环形 测点 保证 | ||
本发明公开了一种狭小缝隙直线度与平面度的测量方法,本方法中辅助装置的测量端子设于阶梯测量块的上平面,阶梯测量块下平面的平面度小于0.01mm,阶梯面的平面度小于0.01mm、垂直度小于0.01mm。将阶梯测量块安插于狭缝中,阶梯测量块下平面与狭缝测量面接触、阶梯面抵靠狭缝外端面,标靶安放于圆环形测量端子上;采用光学测量设备采集标靶参数,阶梯测量块沿狭缝端面滑动,通过光学测量设备分别采集标靶在狭缝测量面各测点的参数;通过光学测量设备得到狭缝测量面的直线度、平面度数据。本方法方便实现狭小缝隙参数的精确测量,克服了传统狭缝测量方式的缺陷,提高测量精度和效率,保证狭缝类设备可靠运行。
技术领域
本发明涉及一种狭小缝隙直线度与平面度的测量方法。
背景技术
通常狭缝设备的直线度及平面度在限定的狭缝长度范围内,狭缝上表面、下表面直线要素、平面要素的实际形状,其数值大小表示了测量面保持理想直线、平面要素的实际状况。其公差带是在两平行线、两平行平面之间的区域。
狭缝直线度与平面度的检测过程中,受狭缝的空间狭小限制,狭缝的直线度与平面度无法实现高精度测量。一般狭缝常规的检测主要有狭缝宽度检测,通常采用塞尺或游标卡尺进行测量。其测量范围小、精度差,且受检测人员的测量经验影响较大。
随着加工、制造业的飞速发展,狭缝类设备的空间位置状态引起行业的重视,其直线度、平面度常常决定了设备的性能实现,如仍采用原有检测方法,根本无法确定狭缝设备状态,严重影响设备的性能精度和功能维护,提高了设备检修的成本。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种狭小缝隙直线度与平面度的测量方法,利用辅助装置可方便实现狭小缝隙直线度与平面度的精确测量,采用本方法克服了传统狭缝测量方式的缺陷,提高了测量精度和效率,保证了狭缝类设备的可靠运行。
为解决上述技术问题,本发明狭小缝隙直线度与平面度测量的辅助装置包括阶梯测量块和圆环形测量端子,所述测量端子设于所述阶梯测量块的上平面,所述阶梯测量块下平面的平面度小于0.01mm,所述阶梯测量块的阶梯面的平面度小于0.01mm、垂直度小于0.01mm。
狭小缝隙直线度与平面度的测量方法包括如下步骤:
步骤一、将辅助装置的阶梯测量块安插于狭缝中,阶梯测量块的下平面与狭缝所需测量的平面相接触,阶梯测量块的阶梯面抵靠于狭缝外端面,将光学测量设备的标靶安放于圆环形测量端子上;
步骤二、通过光学测量设备采集标靶的参数,将阶梯测量块沿狭缝端面滑动并阶梯面紧贴狭缝端面,通过光学测量设备分别采集标靶在狭缝测量面各测点的参数,以完成狭缝测量面各测点数据采集;
步骤三、通过光学测量设备对采集的狭缝测量面各测点数据进行模拟、分析和计算,得到狭缝测量面的直线度、平面度数据。
由于本发明狭小缝隙直线度与平面度的测量方法采用了上述技术方案,即本辅助装置的测量端子设于阶梯测量块的上平面,阶梯测量块下平面的平面度小于0.01mm,阶梯测量块的阶梯面的平面度小于0.01mm、垂直度小于0.01mm。本测量方法将阶梯测量块安插于狭缝中,阶梯测量块下平面与狭缝所需测量的平面相接触、阶梯面抵靠于狭缝外端面,将标靶安放于圆环形测量端子上;采用光学测量设备采集标靶参数,将阶梯测量块沿狭缝端面滑动,通过光学测量设备分别采集标靶在狭缝测量面各测点的参数,完成狭缝测量面各测点数据采集;通过光学测量设备对采集的狭缝测量面各测点数据进行模拟、分析和计算,得到狭缝测量面的直线度、平面度数据。本辅助装置可方便实现狭小缝隙直线度与平面度的精确测量,本方法克服了传统狭缝测量方式的缺陷,提高了测量精度和效率,保证了狭缝类设备的可靠运行。
附图说明
下面结合附图和实施方式对本发明作进一步的详细说明:
图1为本方法中的辅助装置结构示意图。
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