[发明专利]一种高倍聚光光伏系统接收器的保护膜及其制备方法

权利要求书

1.一种高倍聚光光伏系统接收器的保护膜，其特征在于：所述保护膜为Al₂O₃薄膜，通过原子层沉积技术制备置于接收器外层；接收器由覆铜陶瓷板、太阳能电池、肖特基二极管以及金线等元件组成，所述保护膜包覆所有元件与空气接触的外表面。

2.根据权利要求1所述的保护膜，其特征在于：所述Al₂O₃薄膜为均匀致密材料，厚度为30-100nm，厚度均匀性偏差小于3%，台阶覆盖高宽比超过100：1。

3.根据权利要求1所述的保护膜，其特征在于：所述Al₂O₃薄膜为高透膜，平均透过率超过80%。

4.制备上述保护膜的方法，其特征在于步骤如下：

步骤1：将高倍聚光光伏系统的接收器放置到原子层沉积设备真空腔室中的样品架上，真空腔室的真空度保持在600-800pa，腔室温度为室温；

步骤2：将金属有机物前驱体三甲基铝通入真空腔室，金属有机物在接收器的表面形成吸附，控制吸附反应时间0.1~0.3秒，然后将氮气通入真空腔室进行吹扫，吹扫时间为1~2秒；

步骤3：通入第二种前驱体水蒸气，水蒸气使接收器表面的金属原子被进一步氧化成Al₂O₃，控制表面氧化反应时间为0.2~0.4秒，然后再用氮气吹扫真空腔室1~2秒；完成一个原子层薄膜的生长，一个原子层厚度控制在0.1~0.2nm之间；

步骤4：重复步骤2和3，经过多循环的周期沉积生长，在接收器表面形成一层均匀的Al₂O₃薄膜，厚度范围为30~100nm；

步骤5：在压强30pa，温度120℃，Ar气气氛下退火20分钟。