[发明专利]颗粒状多晶硅流化床反应器

权利要求书

1.一种颗粒状多晶硅流化床反应器，其特征是它由气体排出区（1-2）、反应区（1-1）和气体缓冲区（1-3）组成，气体排出区（1-2）位于反应区（1-1）的上部并直接连通，气体缓冲区（1-3）位于反应区（1-1）的下部，两者之间通过气体分布器（9）分割，气体分布器（9）的中心设有产品颗粒排出反应器外的出料口（9-3），出料口（9-3）与伸出反应器外的出口管（7）相连通，在气体分布器（9）的外圈设有供氢气覆盖气体进入反应区内壁并降低内壁硅颗粒沉积的氢覆盖气进口（9-1），氢覆盖气进口（9-1）与伸出反应器外的氢气进气管（6）相连通，在出料口（9-3）与氢覆盖气进口（9-1）之间的气体分布器（9）上设有与气体缓冲区相连通的反应气进口（9-2）；在气体缓冲区（1-3）上设有原料气进口（8）和流化气体进口（10），低于反应温度的原料气从原料进气口（8）进入缓冲区后在气体分布器（9）的控制下按设定的速度和比例进入反应区（1-1），反应区（1-1）的筒壁上设有微波加热器（2-4），气体排出区（1-2）设有晶种入口（3）和尾气排出口（4），尾气排出口（4）上安装有旋风分离器，用于分离尾气和未反应的硅粉尘。

2.根据权利要求1所述的反应器，其特征是所述的气体分布器（9）呈博士锥帽型结构，设有氢覆盖气进口（9-1）、反应气进口（9-2）和出料口（9-3）。

3.根据权利要求1所述的反应器，其特征是所述的气体分布器（9）的反应气进口（9-2）结构为直通管道形状或喇叭口形状或缩放状；在气进口（9-2）三种形状的出口段开有直槽道或锯齿槽道。

4.根据权利要求1所述的反应器，其特征是所述的反应器壁（2）设在与反应区（1-1）相对应的器壁中，反应区的内壁上设有碳化硅涂层（2-5）和微波加热器（2-4），在反应区的外壁（2-1）与微波加热器（2-4）之间设有隔热层（2-2）和微波反射层（2-3），其中微波反射层（2-3）与微波加热器（2-4）紧邻。