[发明专利]一种导电薄膜的溅镀成型装置

说明书

技术领域

本发明涉及导电薄膜的成型设备，具体是一种导电薄膜的溅镀成型装置。

背景技术

导电薄膜是一种目前已经广泛应用于平板显示、屏式触控技术、太阳能电池板、太阳能控制膜、防止起雾除霜玻璃、冰玻璃、防静电涂层等诸多领域的材料。结构是在薄膜基材的一面附着有透明导电层，附着导电层可以采用溅镀、脉冲激光沉积、真空蒸镀、化学气相沉积、溶胶凝胶法等技术手段来实现。

导电薄膜的溅镀工艺，就是在真空状态充入惰性气体的环境下，在塑胶薄膜基材（阳极）和金属靶材（阴极）之间加上高压直流电，通过辉光放电产生的电子激发惰性气体，产生等离子体将金属靶材的原子轰出，沉积在薄膜基材上。金属靶材（阴极）可以采用ITO（氧化铟锡）、IGZO（氧化铟镓锌）、ITiO（氧化铟钛）、AZO（氧化铝锌）、ZnO（氧化锌）中的一种。

导电薄膜的溅镀成型设备，有如台湾专利申请第TW201250027A1号中的设备部分，是一个真空封闭室内依次设置有放卷室、溅镀预加热室、第一溅镀室、第二溅镀室、收卷室，第一溅镀室和第二溅镀室内各设有膜薄传送辊筒，在薄膜传送辊筒的外侧各分布有若干个金属靶材阴极，溅镀预加热过程的膜薄传送是由若干导向辊进行有张力传送。

导电薄膜溅镀成型后一般需要进行热处理（或称退火），一是为了促使导电薄膜的透明导电层形成结晶，以提高导电薄膜的使用寿命；二是让导电薄膜进行预先热收缩，避免日后使用上会出现热收缩。当将整卷传送的导电薄膜进行热处理时，如果导电薄膜的加热过程存在传送张力，导电薄膜就会被拉伸变形，日后使用也会容易产生热收缩现象，传送张力过大时还会造成透明导电层破裂。

导电薄膜溅镀成型后的热处理设备，有如台湾专利申请第TW201221363A1号中的设备部分，是一个可以减少导电薄膜加热过程的传送张力的技术方案。其加热装置采用热风加热方式，加热装置内设有多个上下交叉对吹的热风嘴，导电薄膜作水平传送经过加热炉时由于热风嘴上下交叉鼓风而形成悬浮状态，从而减少了加热过程的传送张力。但是加热过程对导电薄膜鼓风也会形成对导电薄膜的一定张力且张力不很均匀，所以这种消除张力的加热效果不佳。

使用上述已有技术存在的缺点：一是溅镀成型设备和溅镀成型后的热处理设备各为独立设备，造成整个导电薄膜生产工序较长，生产成本较高，设备占用场地较多；二是导电薄膜热处理过程仍然存在一定的传送张力，会导致导电薄膜被拉伸变形和日后使用容易产生热收缩；三是溅镀预加热的膜薄传送是有张力传送，会导致导电薄膜被拉伸变形而影响导电薄膜的溅镀成型质量；四是分布在薄膜传送辊筒外侧的若干个金属靶材阴极没有分隔开，会造成溅镀均匀性较差。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种改进的导电薄膜的溅镀成型装置，以克服现有技术的整个导电薄膜生产工序较长、生产成本较高、设备占用场地较多和导电薄膜热处理过程仍然存在一定的传送张力，会导致导电薄膜被拉伸变形和日后使用容易产生热收缩的缺陷。本发明的另外目的是进一步改进，以克服现有技术的溅镀预加热的膜薄传送是有张力传送，导致导电薄膜被拉伸变形而影响导电薄膜的溅镀成型质量和溅镀均匀性的缺陷。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种导电薄膜的溅镀成型装置，是一个真空封闭室，其内设置有放卷室、溅镀室和收卷室，溅镀室内设有膜薄传送辊筒，薄膜传送辊筒外侧分布有若干个金属靶材阴极，薄膜基材从放卷室的放卷机构输出、进入溅镀室绕薄膜传送辊筒传送、由金属靶材阴极释放的粒子溅镀在薄膜基材上而成为导电薄膜、然后进入收卷室为收卷机构所收卷，其特征是：所述溅镀室和收卷室之间设有热处理室，热处理室与溅镀室之间由带有缝口的溅镀室隔板隔开，热处理室与收卷室之间由带有缝口的收卷室隔板隔开，导电薄膜是先从溅镀室隔板的缝口进入热处理室进行热处理后才从收卷室隔板的缝口进入收卷室，导电薄膜在热处理室内是以自然悬垂状态进行传送，热处理室内在导电薄膜的自然悬垂传送路径的上下两侧处设有加热器。

上述技术方案所述的真空封闭室内可以由若干传送辊与放卷机构、薄膜传送辊筒和收卷机构等配合构成薄膜基材及其导电薄膜的传送路径。

上述技术方案所述的溅镀室内在溅镀室隔板的缝口处可以设有一对传送速度限定辊、热处理室内在溅镀室隔板的缝口处可以设有悬垂限位辊，所述收卷室内在收卷室隔板的缝口处可以设有一对传送速度限定辊、加热室内在收卷室隔板的缝口处可以设有悬垂限位辊，传送速度限定辊可以是由一对有动力驱动的压滚组成。