[发明专利]石英谐振元件

权利要求书

1.一种石英谐振元件，包括基部（2）和具有相同结构且工作于宽度弯曲谐振模态的两平行的谐振梁（3），两谐振梁（3）的一端与基部连接，其特征在于：所述谐振梁（3）的正面和背面中至少有一个面上设有沿长度方向的凹槽，该凹槽的开口方向与谐振梁（3）的振动方向垂直；所述凹槽由两侧平行的深凹槽（4a）和位于两个深凹槽（4a）之间且与两个深凹槽连为一体的浅凹槽（4b）构成；在凹槽的内壁以及谐振梁（3）的两侧壁分别覆盖有用于连接激励电源的电极，两根谐振梁（3）通过与激励电源不同极性的连接使之振动方向相反，其中深凹槽底面及两侧壁覆盖电极，浅凹槽只在底面左右两端覆盖彼此断开的电极，深凹槽上的电极与浅凹槽底面对应端上的电极连为一体。

2.根据权利要求1所述的石英谐振元件，其特征在于：所述谐振梁（3）另一端在正面或背面某一面设置有用于频率调节的金属质量块（7），金属质量块所在的谐振梁该面设置有所述凹槽。

3.根据权利要求1或2所述的石英谐振元件，其特征在于：所述谐振梁（3）与基部（2）连接的左右两侧根部设置有倒角（6）以与基部平滑连接。

4.根据权利要求3所述的石英谐振元件，其特征在于：所述谐振梁（3）正面和背面均设置有所述凹槽且正面和背面对称设置。