[发明专利]气体导入装置和电感耦合等离子体处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于向电感耦合等离子体处理装置等处理装置的处理室内导入处理气体的气体导入装置和具备其的电感耦合等离子体处理装置。

背景技术

在FPD（平板显示器）的制造工序中，对FPD用的玻璃基板进行等离子体蚀刻、等离子体灰化、等离子体成膜等各种的等离子体处理。作为这种进行等离子体处理的装置，已知有能够产生高密度等离子体的电感耦合等离子体（ICP）处理装置。

电感耦合等离子体处理装置具有被气密地保持并对作为被处理体的基板进行等离子体处理的处理室和配置在处理室的外部的高频天线。处理室具有由构成其顶面部分的电介质等材质形成的板状部件，高频天线配置在板状部件的上方。该电感耦合等离子体处理装置中，通过对高频天线施加高频电力，隔着板状部件在处理室内形成感应电场。利用该感应电场将被导入处理室内的处理气体转化为等离子体，使用该等离子体对基板进行规定的等离子体处理。

在电感耦合等离子体处理装置中，用能够容易装卸的电介质罩覆盖板状部件的下表面。由此，能够保护板状部件的下表面，且能够容易更换或清洗受到损伤的电介质罩。在专利文献1中，提案有经由固定上述电介质罩的固定件导入处理气体的气体导入装置。在该提案中，通过兼用上述固定件和气体导入装置，电感耦合等离子体处理装置中的向处理室内导入处理气体的导入位置的自由度提高，例如也能够从板状部件的中央附近导入处理气体。在以大型的基板为处理对象的电感耦合等离子体处理装置中，需要向基板面内均匀地供给处理气体，因此专利文献1的技术是有用的。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011－171153号公报（图11等）

发明内容

发明想要解决的问题

在电感耦合等离子体处理装置中，经由板状部件向处理室内导入处理气体的气体导入装置的材质使用金属时，在金属和由电介质等材质形成的板状部件中，热膨胀系数的差较大，因此有时板状部件发生破裂。为了防止该情况，利用陶瓷形成气体导入装置的大部分即可。但是，陶瓷与金属制的螺钉等固定用的部件的热膨胀系数的差较大，所以在等离子体生成时陶瓷制的部件被施加热应力，有时产生裂缝、破损等不良情况。特别是，在以大型的基板为处理对象的电感耦合等离子体处理装置中，需要对高频天线施加较大的高频电力，因此等离子体产生的热量变大，存在对上述陶瓷制部件施加的热应力也增加的倾向。

本发明是鉴于上述的问题点而完成的，其目的在于提供能够极力避免处理装置所使用的陶瓷制部件的因热而产生不良情况的安装构造。

用于解决课题的技术方案

本发明的气体导入装置是将气体导入处理装置的处理室内的装置，该处理装置包括：主体容器；处理室，其设置在上述主体容器的内部，收纳被处理体；板状部件，其构成上述处理室的顶面部分；气体供给装置，其对上述处理室供给气体；和配管，其将来自上述气体供给装置的气体导入上述处理室内。

本发明的气体导入装置包括：中空状的陶瓷制部件，其包括具有能够插入到上述贯通开口的大小的第一凸缘部和比上述贯通开口大的第二凸缘部，该陶瓷制部件在被插入到上述贯通开口的状态下与上述配管连结；保持部件，其与被插入到上述贯通开口的状态下的上述陶瓷制部件的第一凸缘部抵接并对其进行保持；第一紧固件，其与上述保持部件连结并且在外周部具有第一螺纹构造；和第二紧固件，其在呈筒状的内周面具有与上述第一螺纹构造旋合的第二螺纹构造，用于与上述第一紧固件紧固连结。

而且，本发明的气体导入装置的特征在于，以上述保持部件因热膨胀而伸长的方向和上述第二紧固件因热膨胀而伸长的方向相互相反的方式连结上述保持部件和上述第一紧固件。

本发明的气体导入装置中，使上述第一紧固件和上述第二紧固件旋合，由此使上述保持部件与上述陶瓷制部件的第一凸缘部卡合而使上述第二凸缘部贴紧在上述板状部件，将上述陶瓷制部件固定于上述板状部件。

本发明的气体导入装置中，上述保持部件包括多个部件，该多个部件在组合状态下形成为具有圆筒部分和从该圆筒部分向内侧突出的缩径部分的筒状体。

本发明的气体导入装置中，上述第一紧固件呈环状，其内径比上述陶瓷制部件的第一凸缘部的外径大。

本发明的气体导入装置，构成上述保持部件的材料的线热膨胀系数比构成上述第二紧固件的材料的线热膨胀系数大。

本发明的气体导入装置，上述保持部件和上述第一紧固件之间经由第三部件连结。