[发明专利]一种透射电子显微镜样品的固定装置

说明书

技术领域

本发明属于半导体制造装备技术领域，尤其涉及透射电子显微镜样品在样品杆上的固定装置。

背景技术

透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope，以下简称未TEM），可以同时分析微区的组织形态、晶体结构、组成元素、化学键结状态以及电子分布结构等，是固体材料分析强有力的工具之一。

随着半导体行业的不断发展，技术的不断改良，芯片尺寸的不断缩减，材料生长日趋多元化、立体化、微型化，各种类型的异质材料中存在的界面、应变态、应变弛豫及随后的晶格失配位错的形成等，为TEM的使用提供了广阔的发展空间。

TEM的成像原理是高能电子束穿透样品，透射电子经过聚焦与放大，采用探测器收集信号并成像。由于电子易散射和被物体吸收，所以透射电子显微镜对样品的制样要求较高。TEM样品直径为3mm，样品厚度的要求依据加速电压的不同而有所不同，一般在100nm左右。

参见图1a、1b，电镜观测前，采用镊子将样品（1）放入样品杆（3）的预定位置，采用弹片（4，通常为铜片）压住样品，而弹片（4）通过一字螺丝（2）固定至所述样品杆（3），由此实现弹片（4）将样品（1）压紧在样品杆（3）上。但在操作过程中，由于经常使用螺丝刀用力旋转一字螺丝，直至完全旋入样品杆并固定住，长期磨损会导致一字螺丝出现滑丝，甚至可能没有将样品完全固定在样品杆上，导致样品在透射电镜观测过程中掉落至镜筒中，最终导致样品遗失，甚至电镜出现故障。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是现有技术中TEM样品杆上的一字螺丝长期磨损导致滑丝，进而影响样品掉落的不足。

为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案是：一种透射电子显微镜样品的固定装置，包括：用于承载样品的样品杆，弹片，还包括固定连接在所述样品杆上的弹簧螺丝，所述弹簧螺丝穿过所述弹片的第一端；所述弹簧螺丝具有锁紧状态以及释放状态，当该弹簧螺丝位于锁紧状态时，所述弹片的第二端抵靠在所述样品上；当该弹簧螺丝位于释放状态时，所述弹片与所述样品脱离。

优选的，所述弹片为铜片。

优选的，所述弹片的第二端具有C型的卡爪，当该弹簧螺丝位于锁紧状态时，该卡爪与样品的周边接触。

优选的，除卡爪之外的所述弹片的其它部分相对卡爪形成远离样品杆的弯折。

采用上述结构，通过手工操作弹簧螺丝即可实现样品的固定和取出。这种方法解决了螺丝固定过程中出现的滑丝问题，有效地缩短了透射电子显微镜样品固定与取出的时间，提高了透射电子显微镜的使用效率，延长了固定螺丝的使用寿命，并且降低了使用成本。

附图说明

通过附图中所示的本发明的优选实施例的更具体说明，本发明的上述及其它目的、特征和优势将更加清晰。在全部附图中相同的附图标记指示相同的部分。并未刻意按实际尺寸等比例缩放绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。

图1a、1b是现有技术中样品固定装置的俯视图、立体图。

图2a、2b是本发明的样品固定装置的俯视图、立体图；

图3为弹簧螺丝连接弹片的放大图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的实施例作详细说明：本实施例在以本发明技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式，但本发明的保护范围不限于下述的实施例。

参见图2a、2b以及图3，本发明所涉及的透射电子显微镜样品的固定装置包括：用于承载样品1的样品杆3，固定连接在所述样品杆3上的弹簧螺丝5，以及弹片4，所述弹簧螺丝5穿过所述弹片4的第一端。所述弹簧螺丝5具有锁紧状态以及释放状态，当该弹簧螺丝5位于锁紧状态时，所述弹片4的第二端抵靠在所述样品1上，此时，弹簧螺丝5自身的弹簧压力传递至弹片，能够确保弹片4将样品1压紧于样品杆3上；当该弹簧螺丝5位于释放状态时，所述弹片4与所述样品脱离，此时可以便于取放样品。所述弹簧螺丝5的锁紧状态与释放状态之间的转变通过直接手工操作弹簧螺丝5即可实现，不需要任何工具。所述弹簧螺丝5可以采用现有技术。

其中所述弹片4优选采用铜片，具有弹性优良以及耐磨等优点。所述弹片4的第二端具有C型的卡爪，当该弹簧螺丝位于锁紧状态时，该卡爪与样品1的周边接触，因而不会对样品1造成污染与损坏。除卡爪之外的所述弹片4的其它部分相对卡爪形成远离样品杆3的弯折，以确保仅有卡爪压紧在样品1上，避免其它部分与样品的接触。

以上所述的样品的固定装置具有以下优点：

1.缩短了透射电子显微镜样品固定与取出的时间；

2.提高了透射电子显微镜的使用效率；