[发明专利]一种稀有气体干燥回收系统无效

专利信息
申请号: 201310491947.2 申请日: 2013-10-18
公开(公告)号: CN103521042A 公开(公告)日: 2014-01-22
发明(设计)人: 李大明;张志全 申请(专利权)人: 西安联合超滤净化设备有限公司
主分类号: B01D53/26 分类号: B01D53/26;B01D53/02
代理公司: 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 代理人: 王少文
地址: 710075 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 稀有气体 干燥 回收 系统
【权利要求书】:

1.一种稀有气体干燥回收系统,其特征在于:包括冷却器(4)、分离器(5)、吸附式干燥器(8),

所述冷却器(4)的进气口与气源连接,所述冷却器(4)的出气口与分离器(5)的进气口连接,所述分离器(5)的出气口与吸附式干燥器(8)的进气口连接,

所述吸附式干燥器(8)包括至少两个吸附罐,当其中一个进行吸附时,另一个进行再生;吸附式干燥器(8)的再生气出口与气源连接,吸附式干燥器的纯化气出口与用气设备(11)的进气口连接,用气设备(11)的气体出口与气源连接。

2.根据权利要求1所述的稀有气体干燥回收系统,其特征在于:所述系统还包括除油过滤器(7),所述分离器(5)通过除油过滤器(7)与吸附式干燥器(8)连接。

3.根据权利要求2所述的稀有气体干燥回收系统,其特征在于:所述系统还包括前置过滤器(6),所述分离器(5)通过前置过滤器(6)与除油过滤器(7)连接。

4.根据权利要求1或2或3所述的稀有气体干燥回收系统,其特征在于:所述系统还包括增压机(3)和缓冲储气罐(10),气源通过增压机(3)与冷却器(4)连接,吸附式干燥器(8)通过缓冲储气罐(10)与用气设备(11)连接。

5.根据权利要求4所述的稀有气体干燥回收系统,其特征在于:还包括粉尘过滤器(9),所述粉尘过滤器(9)通过吸附式干燥器(8)与用气设备(11)连接。

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