[发明专利]一种稀有气体干燥回收系统无效
申请号: | 201310491947.2 | 申请日: | 2013-10-18 |
公开(公告)号: | CN103521042A | 公开(公告)日: | 2014-01-22 |
发明(设计)人: | 李大明;张志全 | 申请(专利权)人: | 西安联合超滤净化设备有限公司 |
主分类号: | B01D53/26 | 分类号: | B01D53/26;B01D53/02 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 王少文 |
地址: | 710075 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 稀有气体 干燥 回收 系统 | ||
1.一种稀有气体干燥回收系统,其特征在于:包括冷却器(4)、分离器(5)、吸附式干燥器(8),
所述冷却器(4)的进气口与气源连接,所述冷却器(4)的出气口与分离器(5)的进气口连接,所述分离器(5)的出气口与吸附式干燥器(8)的进气口连接,
所述吸附式干燥器(8)包括至少两个吸附罐,当其中一个进行吸附时,另一个进行再生;吸附式干燥器(8)的再生气出口与气源连接,吸附式干燥器的纯化气出口与用气设备(11)的进气口连接,用气设备(11)的气体出口与气源连接。
2.根据权利要求1所述的稀有气体干燥回收系统,其特征在于:所述系统还包括除油过滤器(7),所述分离器(5)通过除油过滤器(7)与吸附式干燥器(8)连接。
3.根据权利要求2所述的稀有气体干燥回收系统,其特征在于:所述系统还包括前置过滤器(6),所述分离器(5)通过前置过滤器(6)与除油过滤器(7)连接。
4.根据权利要求1或2或3所述的稀有气体干燥回收系统,其特征在于:所述系统还包括增压机(3)和缓冲储气罐(10),气源通过增压机(3)与冷却器(4)连接,吸附式干燥器(8)通过缓冲储气罐(10)与用气设备(11)连接。
5.根据权利要求4所述的稀有气体干燥回收系统,其特征在于:还包括粉尘过滤器(9),所述粉尘过滤器(9)通过吸附式干燥器(8)与用气设备(11)连接。
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