[发明专利]一种真空低温泵中的二级冷板

说明书

技术领域：

本发明涉及真空低温泵的技术领域，更具体地说涉及一种真空低温泵中的结构改进的二级冷板。

背景技术：

低温泵，又称冷凝泵，是利用低温表面冷凝气体的真空泵。其可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。而作为其冷凝气体所用的冷板则是其关键的部件。现有的低温泵的二级冷板结构如图1所示，其由筒体10和封头20组成，现有的冷板一般均由无氧的紫铜制成，其在体积较小时，筒体10的强度尚可，但制成较大的冷板时，则其筒体10的强度往往不够，易致使低温泵丧失功能。

发明内容：

本发明的目的就是针对现有技术之不足，而提供一种结构改进的真空低温泵中的二级冷板，其在筒体上增加凹槽成为其加强筋，同时在凹槽上设置铜管增加强度，从而保证了冷板的强度。

为实现上述目的，本发明的真空低温泵中的二级冷板包括筒体和封头，封头固定在筒体上，筒体的外壁上分别成型有若干环形凹槽和纵向凹槽，筒体的环形凹槽内焊接有环状铜管，筒体的纵向凹槽内焊接有纵向铜管，所述的环状铜管和纵向铜管相连通并焊接在一起。

作为上述技术方案的优选，所述的筒体上的纵向凹槽的最低端位于筒体最下端的环形凹槽上。

作为上述技术方案的优选，所述的环状铜管和纵向铜管通过磷铜钎焊密封焊接在一起。

作为上述技术方案的优选，所述环形凹槽和纵向凹槽所在处的筒体壁厚等于筒体其他圆柱面处的壁厚。

本发明的有益效果在于：其在筒体上成型凹槽作为其加强筋，同时又在凹槽上焊接铜管加固，从而增强了二级冷板的强度，增加了泵体的使用寿命。另外，其所焊接的铜管可以连通氦压缩机组，从而使二级冷板能够加快冷却速度，从而有效的凝结气体。

附图说明：

下面结合附图对本发明做进一步的说明：

图1为现有的二级冷板的结构示意图；

图2为本发明的结构示意图；

图3为本发明的半剖结构示意图。

图中符号说明：

10－筒体；11－环形凹槽；12－纵向凹槽；20－封头；31－环状铜管；32－纵向铜管。

具体实施方式：

以下所述仅为体现本发明原理的较佳实施例，并不因此而限定本发明的保护范围。

见图2至图3所示：本发明的真空低温泵中的二级冷板包括筒体10和封头20，封头20固定在筒体10上，筒体10的外壁上分别成型有若干环形凹槽11和纵向凹槽12，环形凹槽11和纵向凹槽12所在处的筒体10壁厚等于筒体10其他圆柱面处的壁厚。纵向凹槽12的最低端位于筒体10最下端的环形凹槽11上。筒体10的环形凹槽11内焊接有环状铜管31，筒体10的纵向凹槽12内焊接有纵向铜管32，所述的环状铜管31和纵向铜管32相连通并通过磷铜钎焊密封焊接在一起。

本发明的工作原理如下:二级冷板的筒体10卷制之前先通过冲压成型方式成型环形凹槽11和纵向凹槽12，再进行卷制焊接，并焊接上封头20。然后再在凹槽内焊接铜管，成型的环形凹槽11和纵向凹槽12可作为加强筋，增加了筒体10的抗弯变形强度，同时子在其凹槽内焊接铜管，铜管又能增加了筒体10的抗弯变形强度并可以将铜管连接氦压缩机组，加快二级冷板的冷却速度。