[发明专利]一种有机场效应管的绝缘涂层

权利要求书

1.一种有机场效应管的绝缘涂层，其特征在于，所述的绝缘涂层包括第一绝缘层和第二绝缘层，所述的第一绝缘层通过阳极氧化法制备在有机场效应管的栅极上，所述的栅极采用厚度为560nm的钽膜基片，所述的第二绝缘层通过溶液旋涂法旋涂在第一绝缘层上。

2.根据权利要求1所述的有机场效应管的绝缘涂层，其特征在于，所述的第一绝缘层材料为五氧化二钽，其厚度为210nm。

3.根据权利要求2所述的有机场效应管的绝缘涂层，其特征在于，所述的第一绝缘层的制备包括如下步骤：1）将钽膜基片浸入柠檬酸溶液作为阳极，以铂材料作为阴极；2）通电流3～4h完全氧化阳极，制得五氧化二钽薄膜。

4.根据权利要求1所述的有机场效应管的绝缘涂层，其特征在于，所述的第二绝缘层材料为聚甲基丙烯酸甲酯，其厚度为55nm。

5.根据权利要求4所述的有机场效应管的绝缘涂层，其特征在于，所述的第二绝缘层的制备是将钽/五氧化二钽薄膜基片转入氮气手套箱中，旋涂溶有聚甲基丙烯酸甲酯的氯苯溶液而完成的。

6.根据权利要求5所述的有机场效应管的绝缘涂层，其特征在于，所述的氯苯溶液浓度为2.2wt%，旋涂转速为2500r/min，旋涂时间为1min。