[发明专利]一种光学测量平台在审
| 申请号： | 201310498592.X | 申请日： | 2013-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN104567662A | 公开（公告）日： | 2015-04-29 |
| 发明（设计）人： | 吴文镜;张塘;李成敏 | 申请（专利权）人： | 北京智朗芯光科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘杰 |
| 地址： | 100191 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光学 测量 平台 | ||
1.一种光学测量平台，其特征在于，包括底座、固定连接件、X方向移动平台、Y方向移动平台、限位板、升降机构、承载机构和仪器安装机构，
所述固定连接件固定连接于所述底座，所述固定连接件上部设有X方向导向轨，所述固定连接件中心具有第一通孔；
所述X方向移动平台下部能够与所述X方向导向轨构成X方向滑动副，所述X方向移动平台上部设有Y方向导向轨，所述X方向移动平台中心具有第二通孔；
所述Y方向移动平台的下部能够与所述Y方向导向轨构成Y方向滑动副，所述Y方向移动平台中心具有第三通孔；
所述限位板嵌合于所述第三通孔内，所述限位板中心具有第四通孔；
所述第一通孔、第二通孔、第三通孔和第四通孔连通并形成容置空间，所述升降机构设置于所述容置空间内并受限于所述容置空间；
所述承载机构固定连接于所述升降机构的顶部，用于承载待测样品；
所述仪器安装机构用于安装测量头，所述测量头用于对所述待测样品进行测量。
2.根据权利要求1所述的光学测量平台，其特征在于，所述X方向导向轨具有两根，对称地布置于所述固定连接件的Y方向两侧。
3.根据权利要求1所述的光学测量平台，其特征在于，所述Y方向导向轨具有两根，对称地布置于所述X方向移动平台的X方向两侧。
4.根据权利要求1所述的光学测量平台，其特征在于，所述X方向移动平台的Y方向两侧边具有向下的第一限位凸起，所述第一限位凸起与所述固定连接件的Y方向两侧接触。
5.根据权利要求1所述的光学测量平台，其特征在于，所述Y方向移动平台的X方向两侧边具有向下的第二限位凸起，所述第二限位凸起与所述X方向移动平台的X方向两侧接触。
6.根据权利要求1所述的光学测量平台，其特征在于，还包括X方向驱动机构，用于驱动所述X方向移动平台沿X方向移动。
7.根据权利要求1所述的光学测量平台，其特征在于，还包括Y方向驱动机构，用于驱动所述Y方向移动平台沿Y方向移动。
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