[发明专利]加速度传感器结构

说明书

技术领域

本发明涉及微电子领域，更具体的说是涉及一种加速度传感器结构。

背景技术

加速度计是测量载体惯性加速度的仪器，其运用在很多方面。譬如航天航空领域。惯性导航和制导都是以加速度计敏感测量载体运动加速度为基础，因此加速度计的性能直接影响到整个系统的测量精度稳定性以及最终的导航精度。现有的加速度计其包括支撑体、上极板、下极板、导向槽、附加质量块、基座等，其结构复杂，使得加速度计在加工生产时其工序繁琐，使得加工成本和生产成本较高。

发明内容

本发明提供一种加速度传感器结构，其结构简单，加工工序简单，生产成本降低。

为解决上述的技术问题，本发明采用以下技术方案：

加速度传感器结构，它包括支撑座，所述的支撑座的内壁上固定有上极板和下极板，所述的支撑座内设置有活动极板，所述的活动极板的两端均固定有弹性梁，所述的活动极板与上极板相平行，所述的支撑座上与弹性梁接触处设置有受力孔。

更进一步的技术方案是:

作为优选，所述的上极板、下极板和活动极板均连接在信号处理电路上。

作为优选，所述的上极板和下极板位于同一垂直面上。

作为优选，所述的上极板和下极板均有两个。

进一步的，所述的活动极板位于两个上极板之间。

作为优选，所述的受力孔的面积小于支撑座与弹性梁接触的面积。

作为优选，所述的活动极板与上极板之间的距离小于2毫米。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明在满足了现有的测量精度的同时，结构简单，使得加工的工序简单，节约了生产成本。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明。

图1为本发明的结构示意图。

图中的标号为：1、支撑座；2、弹性梁；3、活动极板；4、上极板；5、下极板；6、受力孔。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步的说明。本发明的实施方式包括但不限于下列实施例。

[实施例]

如图1所示的加速度传感器结构，它包括支撑座1，所述的支撑座1的内壁上固定有上极板4和下极板5，所述的支撑座1内设置有活动极板3，所述的活动极板3的两端均固定有弹性梁2，所述的活动极板3与上极板4相平行，所述的支撑座1上与弹性梁2接触处设置有受力孔6。

所述的上极板4、下极板5和活动极板3均连接在信号处理电路上。

为了便于信号处理电路对上极板4和下极板5上电容变化量的处理，所述的上极板4和下极板5位于同一垂直面上。

为了进一步的提高测量精度，所述的上极板4和下极板5均有两个。

所述的活动极板3位于两个上极板4之间。

为了使整个加速度计的结构更稳定，所述的受力孔6的面积小于支撑座1与弹性梁2接触的面积。

为了进一步的提高测量精度，所述的活动极板3与上极板4之间的距离小于2毫米。

本实施例的工作过程如下：

当竖直方向的加速度通过受力孔6作用于弹性梁2时，弹性梁2伸缩，活动极板3会上下移动，则活动极板3会与上极板4和下极板5产生一个差动变化的电容值，通过信号处理电路对变化的值进行处理，即可测得加速度。

本发明可满足现有的加速度计的测量精度，且其结构简单，相比于现有技术，减少了附加质量块、导向槽、基座等，不仅结构更加简单，而且其加工工序也更加简单，同时也节约了生产成本。

如上所述即为本发明的实施例。本发明不局限于上述实施方式，任何人应该得知在本发明的启示下做出的结构变化，凡是与本发明具有相同或相近的技术方案，均落入本发明的保护范围之内。