[发明专利]一种纳米压印机

说明书

技术领域

本发明涉及纳米级结构和器件加工领域，具体涉及一种纳米压印机。

背景技术

传统的纳米压印技术普遍存在施加的压力分布不均、不平衡，压印出来的图形变形，造成产品缺陷。

发明内容

发明目的：为了克服现有技术中存在的不足，本发明提供的纳米压印机 

技术方案：为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：一种纳米压印机，包括真空腔、安装在真空腔内底部的高压仓、高压仓上依次设有调平装置、加热盘和载物台，载物台上端还设有承压板。

进一步地，所述的真空腔顶端设有紫外光源，用户可以根据需要选择加热盘固化或者紫外光源固化。

进一步地，所述的承压板为石英或者铜板制成的承压板，如果用户长期使用加热盘这种热固化加热模式进行固化，为了能提供更大的压力、延长承压板的使用寿命，应该选用铜板。

进一步地，所述的高压仓、调平装置、加热盘和载物台通过转轴连接。

本发明的使用方法包括如下步骤：

a)       将准备压印的样品放在载物台上；

b)      真空腔内抽真空；

c)       高压仓中加压力，在调平装置的作用下，样品均匀压在承压板上；

d)      加热盘加热进行热固化或者紫外光源进行紫外固化；

e)       高压仓放出压力气体，真空腔充气，取出压印样品。

有益效果：本发明提供的纳米压印机充分利用高压仓内的压力气体保证压印模板压入平衡、均匀；通过调平装置可以保证压印模板和压印基板的平整性；本发明结构简单、成本低，适合推广应用。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作更进一步的说明。

如图1所示的纳米压印机，包括紫外光源1、真空腔2、承压板3、载物台4、加热盘5、调平装置6、高压仓7；所述的高压仓7安装在真空腔2内底部、高压仓7上通过转轴8依次连有调平装置6、加热盘5和载物台4，载物台4上端设有承压板3；真空腔顶端设安装有紫外光源1。

本发明的使用步骤包括：

a)       将准备压印的样品放在载物台4上；

b)      真空腔2内抽真空；

c)       高压仓7中加压力，在调平装置6的作用下，样品均匀压在承压板3上；

d)      加热盘5加热进行热固化或者紫外光源1进行紫外固化；

e)       高压仓7放出压力气体，真空腔2充气，取出压印样品。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出：对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。