[发明专利]太阳能电池用硅片扩散炉

权利要求书

1.太阳能电池用硅片扩散炉，包括设置有炉门（1）的炉体（2），炉体（2）内设有石英舟（3），硅片放置于石英舟（3）上，炉体（2）上设有用于扩散气体进入炉体（2）内的进气管（4）和扩散处理后排放尾气的排放管（5），所述排放管（5）上连接有抽风机（6），所述炉体（2）上设置有用于打开或关闭炉门（1）的开关装置，其特征在于：所述开关装置包括底座（71），所述底座（71）上设置有可移动式支架（72）以及用于驱动可移动式支架（72）沿炉体（2）轴向方向移动的第一驱动装置（73），还包括旋转杆（74）、推拉杆（75）以及用于推动推拉杆（75）移动的第二驱动装置（76），所述底座（71）、可移动式支架（72）、第一驱动装置（73）、旋转杆（74）、推拉杆（75）以及第二驱动装置（76）均位于炉体（2）的轴向中心线下方，所述第二驱动装置（76）通过转轴固定在可移动式支架（72）上，所述旋转杆（74）的前端固定在炉门（1）上，末端通过转轴固定在可移动式支架（72）上，推拉杆（75）的前端通过转轴固定在旋转杆（74）上，末端与第二驱动装置（76）相连，当第二驱动装置（76）推动推拉杆（75）移动时，推拉杆（75）推动旋转杆（74）绕旋转杆（74）末端的转轴旋转从而带动炉门（1）旋转。

2.如权利要求1所述的太阳能电池用硅片扩散炉，其特征在于：所述推拉杆（75）的前端通过转轴固定在旋转杆（74）的前端。

3.如权利要求1或2所述的太阳能电池用硅片扩散炉，其特征在于：还包括压缩弹簧（77），所述压缩弹簧（77）的前端固定在旋转杆（74）上，末端固定在底座（71）上，并且所述压缩弹簧（77）与推拉杆（75）位于旋转杆（74）的同一侧。

4.如权利要求3所述的太阳能电池用硅片扩散炉，其特征在于：所述压缩弹簧（77）的前端固定在旋转杆（74）的前端。

5.如权利要求4所述的太阳能电池用硅片扩散炉，其特征在于：所述第一驱动装置（73）、第二驱动装置（76）均为气缸。

6.如权利要求5所述的太阳能电池用硅片扩散炉，其特征在于：所述固定旋转杆（74）末端的转轴与固定第二驱动装置（76）的转轴分别设置在炉体（2）轴向中心线的两侧。