[发明专利]有机EL装置的制造方法、有机EL装置、电子设备

说明书

技术领域

本发明涉及具备有机电致发光（EL）元件的有机EL装置的制造方法、有机EL装置、以及具备该有机EL装置的电子设备。

背景技术

有机EL元件构成为具有阳极、阴极、以及夹在这些电极间的包含有机发光层的功能层。对功能层来说，通过从阳极侧注入的空穴、和从阴极侧注入的电子在有机发光层再结合而产生的能量被转换为荧光、磷光而发光。然而，若水分、氧等从外部经由阳极、阴极浸入功能层，则对有机发光层的载流子（空穴、电子）的注入被阻碍而发光的亮度降低、或功能层变质而失去发光功能本身，产生所谓暗斑的暗点。

在具备这样的有机EL元件的有机EL装置中，为了防止水分、氧等的浸入而形成有覆盖多个有机EL元件的密封层。

另一方面，为了实现与外部驱动电路的连接，上述有机EL装置设有多个连接用端子，所述多个连接用端子连接有机EL装置的各种布线。连接用端子比密封层先形成，因此在形成密封层时需要使连接用端子暴露以便能够进行电利用。

例如，专利文献1公开了在形成层叠体之后，形成相当于上述密封层的保护膜之前，按电极连接部不被保护膜覆盖的方式对电极连接部的表面进行改质的有机EL元件的制造方法，其中，层叠体由阳极、包含发光层的有机层、阴极层叠而形成。

另外，例如，专利文献2公开了一种有机EL装置的制造方法，该方法具备：通过等离子体CVD法形成由无机材料构成的第1气体阻挡层的工序，其中，所述无机材料覆盖元件基板上的包含多个有机EL元件的发光区域；以与第1气体阻挡层平面重叠的方式，利用离子电镀法形成第2气体阻挡层的工序。在该有机EL装置的制造方法中，使用具有与发光区域对应的开口的成膜用掩模，形成第1气体阻挡层、第2气 体阻挡层。换句话说，上述连接用端子被成膜用掩模覆盖，因此连接用端子未形成相当于上述密封层的第1气体阻挡层以及第2气体阻挡层。

专利文献1：日本特开2002－151254号公报

专利文献2：日本特开2010－244696号公报

根据上述专利文献1的有机EL元件的制造方法，需要预先对电极连接部的表面进行改质的工序，因而存在制造工序变得复杂这样的课题。

另外，根据上述专利文献2的有机EL装置的制造方法，若元件基板与成膜用掩模未被设置在规定位置，则存在连接用端子上附着无机材料的问题。因此，设置有连接用端子的部分越小，则元件基板与成膜用掩模的对准越困难。另外，在批量生产时，由于需要除去附着于成膜用掩模的无机材料，所以存在成膜用掩模被要求耐老化性等课题。

发明内容

本发明是为了解决上述的课题的至少一部分而完成的，能够作为以下的方式或者应用例实现。

应用例1

本应用例所涉及的有机EL装置的制造方法，其特征在于，具备配置在基板上的多个有机EL元件和连接用端子的有机EL装置的制造方法，该有机EL装置的制造方法具备：形成覆盖上述多个有机EL元件以及上述连接用端子的密封层的工序；形成覆盖上述密封层的有机层的工序、以在上述有机层中的与上述连接用端子重叠的部分形成到达上述密封层的开口部的方式对上述有机层进行图案化的工序；以及、将图案化形成的上述有机层作为掩模，以上述连接用端子的至少一部分暴露的方式对上述密封层进行蚀刻的工序。

根据本应用例，能够不使用成膜用掩模而将密封层形成在基板的整个面。另外，通过将密封层上图案化形成的有机层作为掩模进行蚀刻来除去密封层中的与连接用端子重叠的部分。因此，不需要为了除去密封层中的与连接用端子重叠的部分，而准备例如涂覆专用的光刻胶并进行 图案化的工序，能够以简单的制造工序使连接用端子以能够利用的状态暴露。即，能够提供具有较高的生产性的有机EL装置的制造方法。

应用例2

上述应用例所涉及的有机EL装置的制造方法的特征在于，上述密封层上具有至少包括红色、绿色、蓝色的着色层的彩色滤光片，上述有机层至少形成为至少一种颜色的上述着色层。

根据该方法，能够将在形成至少三种颜色的着色层的工序中所形成的至少一种颜色的着色层作为掩模，并对与连接用端子重叠的部分的密封层进行蚀刻来除去。

应用例3

在上述应用例所涉及的有机EL装置的制造方法中，也可以在上述密封层上具有至少包括红色、绿色、蓝色的着色层的彩色滤光片，上述有机层作为按颜色划分上述着色层的绝缘层而形成在上述密封层上。