[发明专利]微机械结构

权利要求书

1.一种微机械结构(1)，其具有衬底(110)，所述衬底具有主延伸平面(100)，所述微机械机构用于探测绕垂直于所述主延伸平面(100)延伸的第一方向(101)的第一转速并且用于探测绕平行于所述主延伸平面(100)延伸的第二方向(102)的第二转速，其中，所述微机械结构(1)具有被驱动绕平行于所述第一方向(101)的旋转轴线进行扭转振动的扭转振动元件(10)，其中，所述微机械结构(1)还具有用于探测所述第一转速和第二转速的转速传感器装置(12)，其中，所述扭转振动元件(10)在平行于所述主延伸平面(100)的平面中完全环绕所述转速传感器装置(12)，其中，所述微机械结构(1)具有所述转速传感器装置(12)在所述扭转振动元件(10)处的至少一个第一连接件(31，31’)，其特征在于，所述微机械结构(1)具有所述转速传感器装置(12)在所述衬底(110)处的至少一个第二连接件(32，32’)。

2.根据权利要求1所述的微机械结构(1)，其特征在于，所述转速传感器装置(12)具有第一转速传感器元件(12’)和第二转速传感器元件(12”)，其中，所述微机械结构(1)配置用于通过扭转振动元件的扭转振动运动驱动所述第一转速传感器元件(12’)和所述第二转速传感器元件(12”)平行于驱动方向进行反向的驱动运动，其中，为了实现所述驱动运动，所述扭转振动元件(10)借助于所述第一连接件(31)与所述第一转速传感器元件(12’)连接并且借助于另一第一连接件(31’)与所述第二转速传感器元件(12”)连接。

3.根据权利要求2所述的微机械结构(1)，其特征在于，所述第一连接件(31)具有第一弹簧(41)并且所述另一第一连接件(31’)具有第二弹簧(41’)，其中，所述第一弹簧(41)和所述第二弹簧(41’)分别沿平行于第一方向的方向并且沿垂直于所述转速传感器装置(12)的驱动运动的方向具有相比于沿平行于所述转速传感器装置(12)的驱动运动的方向更小的弹簧刚性。

4.根据权利要求2或3所述的微机械结构(1)，其特征在于，所述第一转速传感器元件(12’)借助于所述第二连接件(32)与所述衬底(110)连接，并且所述第二转速传感器元件(12”)借助于另一第二连接件(32’)与所述衬底(110)连接。

5.根据权利要求4所述的微机械结构(1)，其特征在于，所述第二连接件(32)具有第三弹簧(42)并且所述另一第二连接件(32’)具有第四弹簧(42’)，其中，所述第三弹簧(42)和所述第四弹簧(42’)分别沿平行于第一方向的方向并且沿垂直于所述转速传感器装置(12)的驱动运动的方向具有相比于沿平行于所述转速传感器装置(12)的驱动运动的方向更大的弹簧刚性。

6.根据权利要求2或3所述的微机械结构(1)，其特征在于，所述第一转速传感器元件(12’)具有第一驱动元件(14)和第一探测装置(16)，并且所述第二转速传感器元件(12”)具有第二驱动元件(14’)和第二探测装置(16’)。

7.根据权利要求6所述的微机械结构(1)，其特征在于，所述微机械结构(1)具有用于探测所述第一探测装置(16)的偏移的第一探测机构(25，26，27)和用于探测所述第二探测装置(16’)沿垂直于所述驱动方向的方向并且在平行于所述主延伸平面(100)的平面中的偏移的第二探测机构。

8.根据权利要求1至3之一所述的微机械结构(1)，其特征在于，所述微机械结构(1)除探测所述第一转速和所述第二转速以外还配置用于探测绕平行于所述主延伸平面(100)并且垂直于所述第二方向(102)延伸的第三方向(103)的第三转速。

9.根据权利要求8所述的微机械结构(1)，其特征在于，所述微机械结构(1)具有用于探测平行于所述第一方向(101)的偏移并且用于探测所述第二转速的第三探测机构(21，22)，并且所述微机械结构(1)具有用于探测平行于所述第一方向(101)的偏移并且用于探测所述第三转速的第四探测机构(23，24)。