[发明专利]一种探针模组支架及基板测试设备有效
| 申请号： | 201310513425.8 | 申请日： | 2013-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN103499710A | 公开（公告）日： | 2014-01-08 |
| 发明（设计）人： | 李飞;王念念;刘向明;韩庆超 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 探针 模组 支架 测试 设备 | ||
1.一种探针模组支架，包括工作台，所述工作台的至少一端设置有用于支撑所述工作台的支撑部，所述工作台通过信号输入端接收测试信号，其特征在于，所述工作台与所述支撑部之间具有连接部；
所述工作台设置为：可以所述连接部为旋转中心，相对所述支撑部旋转。
2.根据权利要求1所述的探针模组支架，其特征在于，所述连接部包括：第一旋转轴，所述第一旋转轴的轴向与所述工作台的长度方向平行；
所述工作台以所述第一旋转轴为旋转轴心，相对所述支撑部旋转。
3.根据权利要求2所述的探针模组支架，其特征在于，所述第一旋转轴的两端设置有用于支撑所述第一旋转轴的第一轴承和第二轴承，其中所述第一轴承位于所述工作台内，所述第二轴承位于所述支撑部内。
4.根据权利要求3所述的探针模组支架，其特征在于，所述第一轴承和第二轴承的变形量小于1mm。
5.根据权利要求1所述的探针模组支架，其特征在于，所述连接部包括：第二旋转轴，所述第二旋转轴的轴向与所述工作台的宽度方向平行；
所述工作台以所述第二旋转轴为旋转轴心，相对所述支撑部旋转。
6.根据权利要求1所述的探针模组支架，其特征在于，还包括：用于将所述工作台与所述支撑部固定的限位部。
7.根据权利要求6所述的探针模组支架，其特征在于，所述限位部包括至少一个固定螺栓，所述固定螺栓部分位于所述支撑部内部，部分位于所述工作台内部；
所述固定螺栓的长度在80～150mm之间，所述固定螺栓的直径在8～12mm之间。
8.根据权利要求1-7任一项所述的探针模组支架，其特征在于，所述支撑部上设置有用于连接所述信号输入端的信号接口。
9.一种基板测试设备，其特征在于，包括探针模组，以及如权利要求1-8任一项所述的探针模组支架。
10.根据权利要求9所述的基板测试设备，其特征在于，所述基板测试设备测试区域的两侧各设置一个探针模组支架。
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