[发明专利]双衍射级次Offner成像光谱仪

权利要求书

1.双衍射级次Offner成像光谱仪，该光谱仪包括：Offner凸面光栅光谱成像系统和双波段面阵光电探测器，其特征在于，将现有Offner凸面光栅光谱成像系统中的二级及二级以上衍射级次截止的滤光片替换成三级及三级以上衍射级次截止的滤光片；双波段面阵光电探测器由由两种不同响应波段的光敏元同轴叠层或者平行隔行制作而成；所述Offner凸面光栅光谱成像系统中的光栅同时使用一级和二级衍射光作为有效工作级次，双波段面阵光电探测器同时、分别接收对应的一级和二级衍射光。

2.如权利要求1所述的双衍射级次Offner成像光谱仪，其特征在于，所述同轴叠层光敏元结构的双波段面阵光电探测器上层光敏元对短波敏感，下层光敏元对长波敏感，但上层光敏元对下层光敏元形成短波截止滤光片效应。

3.如权利要求2所述的双衍射级次Offner成像光谱仪，其特征在于，上层光敏元的长波截止波长对应于光栅的搭接波长；上层光敏元接收二级光谱，对一级光谱透明；下层光敏元接收一级光谱。

4.如权利要求1所述的双衍射级次Offner成像光谱仪，其特征在于，所述平行隔行光敏元结构的双波段面阵光电探测器对一级和二级衍射分别同时响应；两个波段以光栅的搭接波长为波段分界点；两个波段光敏元分别对应一级和二级衍射波长区间，具有相同响应波段的各独立像元行垂直于色散方向。

5.如权利要求4所述的双衍射级次Offner成像光谱仪，其特征在于，当二级衍射的长波端波长超出搭接波长被一级衍射的短波端探测时，面阵光电探测器对应的区域只需镀制一级衍射带通滤光片。

6.根据权利要求1所述的双衍射级次Offner成像光谱仪，其特征在于，所述的Offner凸面光栅光谱成像系统中的光栅为锯齿槽型的凸面闪耀光栅，使用电子束光刻、离子束刻蚀、激光束直写或全息法制作。