[发明专利]一种石墨舟的清洗工艺

说明书

技术领域

本发明涉及硅太阳能电池制造中的镀膜工艺所用的石墨舟，尤其是一种石墨舟的清洗工艺。

背景技术

PECVD（Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学气象沉积法）是硅太阳能电池制造工艺中不可缺少的一部分，随着PECVD技术的不断改进，管式PECVD在提高太阳能电池的效率上有了显著提高。而石墨舟清洗效果的好坏，在相当大的程度上，影响了管式PECVD镀膜的效果。如果不能很好的清洗石墨舟，将会导致色差片增多，甚至膜层厚度难以控制，严重影响产能及效益。

由于对于石墨舟清洗目前没有专门的清洗设备和工艺标准，国内一些中小型电池片生产厂家，依然利用在酸中浸泡20多个小时，水洗12多个小时才清洗干净，这种清洗工艺不但石墨舟清洗效果差、效率低，而且石墨舟酸中浸泡过久易于损坏，从而大幅降低了石墨舟的使用寿命。

发明内容

本发明的目的是提供一种石墨舟的清洗工艺，能够获得良好的清洗效果从而提高了镀膜的合格率，并且基本上不影响石墨舟的使用寿命。

一种石墨舟的清洗工艺，其特别之处在于，包括如下步骤：

（1）配液：配制氢氟酸，体积浓度为20%～25%；

（2）酸洗：将石墨舟用配制好的氢氟酸浸泡8～10小时，并且每1小时设定鼓泡8～10分钟，鼓泡气体气压设定为0.2～0.4Mpa；

（3）水洗：将石墨舟用水浸泡6～8小时，浸泡时持续鼓泡，并且每60～70分钟换水一次；

（4）冲洗：用高压水枪将整个石墨舟冲洗一遍；

（5）吹扫：用N₂将石墨舟表面水分吹扫一遍；

（6）烘干：将石墨舟放入烘箱，设定温度100℃～120℃，烘干时间8～10小时即可。

经过试用证明，采用本发明的工艺技术后，在短时间内就可以将石墨舟清洗的很干净，使得石墨舟的清洗效果可以完全匹配石墨舟的镀膜工艺，从而显著提高了镀膜的合格率，避免了长时间酸洗对石墨舟本身的破坏从而有效延长了石墨舟的使用寿命，还可以显著降低色差片等不良品的比例，解决了原来石墨舟清洗的技术难题，从而提高了产线的产能与效益。

具体实施方式

本发明为解决石墨舟清洗效果差的问题，为此提供了一种石墨舟清洗工艺。包括如下步骤：将石墨舟酸洗步骤；进行水洗步骤；进行水枪冲洗和N₂吹扫步骤；进行干燥步骤。

本发明石墨舟清洗工艺，所述的石墨舟酸洗步骤包括将石墨舟螺丝拧松，氢氟酸溶液浓度为20%～25%，再将石墨舟放入酸液中浸泡8～10小时，每个小时N₂鼓泡8～10分钟，其中鼓泡气体气压设置于0.2Mpa，鼓泡强度适当，以免鼓泡过大，氢氟酸挥发，又可避免鼓泡过小，清洗效果差。

本发明石墨舟清洗工艺，所述的石墨舟水洗步骤包括将酸液排到另一个槽子里，再放清水清洗石墨舟6～8小时，过程中需要一直鼓泡，鼓泡阀门开到最大。水洗中每半小时换水一次。

本发明石墨舟清洗工艺，所述的石墨舟水枪冲洗步骤包括将高压水枪对石墨舟进行冲洗，对缝隙处冲洗多次，N₂吹扫步骤包括用N₂将石墨舟表面水分吹扫干净，避免积成水珠，烘干中水珠处酸液浓度慢慢升高而造成石墨舟烘干后在表面留下印痕。

本发明石墨舟清洗工艺，所述的石墨舟干燥步骤包括烘箱温度设定为100℃～120℃，烘干时间8～10小时。石墨舟烘干后冷却半小时。

实施例1：

（1）配液：配制氢氟酸，体积浓度为20%；

（2）酸洗：将石墨舟用配制好的氢氟酸浸泡8小时，酸洗过程中每1小时设定鼓泡10分钟，鼓泡气体气压设定为0.2Mpa，需要手动操作清洗机的鼓泡按钮；相比目前多数采用酸浸泡20多个小时的工艺，本酸洗工艺能够大大增加石墨舟寿命及硅片镀膜效果，同时减少酸洗时间12个小时以上，大大提高了生产效率；

（3）水洗：将石墨舟用水浸泡6小时，浸泡时持续鼓泡，并且每1小时换水一次；

（4）冲洗：用高压水枪将整个石墨舟冲洗一遍；

（5）吹扫：用N₂将石墨舟表面水分吹扫一遍，避免石墨舟表面积成水珠；

（6）烘干：将石墨舟放入烘箱，设定温度120℃，烘干时间8小时即可。