[发明专利]一种提高极紫外辐射转换效率的方法及装置

权利要求书

1.一种提升极紫外辐射转换效率的方法，其特征在于，包括下述步骤：

S1：产生能够辐射极紫外光的等离子体；

S2：在所述等离子体中带电粒子形成位置的周围施加第一磁场，所述带电粒子在所述第一磁场的作用下运动并返回至激发源与靶材的作用点，并被重新激发产生能够辐射极紫外光的等离子体；

S3：在激发源与靶材的作用点处施加第二磁场，逸出所述第一磁场限制的所述带电粒子在所述第二磁场的作用下沿着偏离光学元件表面方向运动。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一磁场由一个由多组环形电磁线圈形成的环形磁场叠加而成；所述第一磁场的磁力线为圆形的闭合线，闭合的磁力线经过等离子体的产生位置，且每条磁力线在此位置相切。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二磁场为均匀磁场，所述第二磁场在等离子体形成位置上的磁力线的方向垂直于轴向，所述轴向为激光的方向；并且第二磁场与第一磁场在等离子体形成位置上的方向相同。

4.一种提高极紫外辐射转换效率的装置，包括高能脉冲激光、透镜、靶材提供装置和椭球收集镜，所述高能脉冲激光经透镜聚焦后与靶材提供装置提供的可持续靶材相互作用产生能够辐射极紫外光的等离子体；其特征在于，所述装置还包括：设置于所述等离子体中带电粒子形成位置的一对或多对电磁线圈，以及南北极相对放置的第一磁铁和第二磁铁；

所述一对或多对电磁线圈产生第一磁场，带电粒子在所述第一磁场的作用下运动至激光与靶材的作用点，并被重新激发产生能够辐射极紫外光的等离子体；

所述第一磁铁和第二磁铁产生第二磁场，所述第二磁场的磁力线方向与所述第一磁场在等离子体形成位置处的磁力线方向相同；逸出所述第一磁场限制的带电粒子在所述第二磁场的作用下沿着偏离光学元件表面方向运动。

5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，通过调节所述电磁线圈的角度或各个位置的疏密程度使得所述电磁线圈的磁力线相互缠绕，形成所述第一磁场。

6.如权利要求4所述的装置，其特征在于，在多对电磁线圈中，将一对线圈以第一磁感线在等离子体形成位置上的切线为轴线做偏转一定的角度复制得到其他线圈，所有线圈形成的磁场叠加形成所述第一磁场。

7.如权利要求4所述的装置，其特征在于，通过增加一对线圈中的一个线圈绕制直径获得更多不同的环形磁场来增大第一磁场的收集角度。

8.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述第一磁铁和第二磁铁在等离子体形成位置上形成的磁力线与所述第一磁场在等离子体位置上的磁力线方向相同。