[发明专利]吸附反转装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种在对由玻璃、硅、陶瓷、化合物半导体等的脆性材料所构成的基板进行加工分断用的刻划线、沿着该刻划线进行分断基板等的基板加工装置等所使用的吸附反转装置。

背景技术

由现有习知，例如在专利文献1等揭示有如下方法：对载置于平台上的基板，使刀轮(又称刻划轮)在施加既定的刻划压的状态下转动、或利用由激光光束的照射产生的热梯度等，形成相互正交的多条平行的刻划线，之后，使基板表背面反转，从与设有该刻划线的面相反侧的面以裂断杆按压而使基板挠曲借此分断基板，取出单位制品。

此外，关于贴合有2片玻璃基板的基板的分断方法，例如在专利文献2(图45等)，亦揭示有利用以下所示的步骤进行分断的方法。亦即，对载置于刻划装置的平台上的基板，借由使刀轮转动，而在基板的一面即a面形成刻划线。接着，在利用吸附反转装置吸附基板并使其反转之后，载置于裂断装置的平台上，对成为基板a面的背面的基板b面以裂断杆等进行按压而裂断基板a面。接着，与上述同样地，在基板b面形成刻划线，使基板反转后，对基板a面以裂断杆等进行按压而分断基板b面。之后，将所分断的基板从裂断装置卸除而移往下一步骤。

在如上述的基板的加工方法中，使用于使基板反转的吸附反转装置，具备有用以吸附置于平台等的载置台上的基板并抬起的吸附板，而使利用吸附板吸附并抬起的基板进行反转。作为使该吸附板相对于基板面上下升降的机构，例如从位于平台的上方的构架(frame)等的支持部延伸设置垂直的支柱，在该垂直的支柱，将保持该吸附板成可反转的升降构件安装成可升降。该升降构件，以如下方式形成：为了使其升降对于反转为必要的距离而借由移动行程较长的流体汽缸或利用齿条与齿轮(pinion)等构成复杂的构造的升降机构进行升降。

在如上述般的吸附反转装置，存在有如下的问题点：借由垂直的支柱、或沿着此进行升降的升降构件、以及装入于内部的复杂的升降机构而使升降装置成为大型者、且机构变复杂并使成本变高。

专利文献1：国际公开WO2005/053925号公报

专利文献2：国际公开WO2002/057192号公报

有鉴于上述现有的吸附反转装置存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新型的吸附反转装置，能够改进一般现有的吸附反转装置，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经过反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。

发明内容

本发明的目的在于，克服现有的吸附反转装置存在的缺陷，而提供一种可以新颖的机构、更极为简单的构造进行吸附板的上下动的吸附反转装置。

为了达成上述目的而在本发明中提出了如接下来的技术方案。亦即，本发明是吸附基板并使其反转的吸附反转装置，具备由左右的侧架支持的旋转轴、呈水平地安装于该旋转轴并与旋转轴一起旋动的支持构件、通过下压构件而保持于该支持构件成能够上下动的水平的吸附板、以及对该吸附板随时以朝向上方的方式进行弹压的回弹弹簧；且成为以如下方式形成的构成：借由使该下压构件动作而使该吸附板往下动，借由解除该下压构件下压之力、并借由该回弹弹簧的弹压力而使该吸附板上升并返回原位置。

在本发明的吸附反转装置中，由于形成为一旦解除下压构件的下压力，则借由回弹弹簧的弹压力(复原力)而吸附板自然返回原位置，因此具有如下的效果：可省略用以使吸附板上升的机械性的机构，借此可以简单的构成、且低成本形成吸附板的升降机构。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

在上述发明中，较佳为：下压构件，由具备有活塞的气缸构成，且该活塞形成为在开启动作(ON动作)下进行往下动、在关闭动作(OFF动作)下解除下压力，并且能够调整开启动作(ON动作)时的下压量。借此，可根据基板的厚度等作业条件，而适当地调整吸附板的下降量。

此外，在上述发明中，较佳为：用于对气缸供给空气的空气流路设于旋转轴内部，且连接有从空气流路至气缸的空气流通用的配管。

借此，在该吸附板反转旋动时，与气缸连接的配管不会扭结，并且可简化与气缸连接的配管设备。

本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。借由上述技术方案，本发明吸附反转装置至少具有结构简单、成本低廉、可适当调整吸附板的下降量等优点。