[发明专利]微光刻投射曝光设备

权利要求书

1.一种微光刻投射曝光设备，包括：

-照明物平面（7）中物场的物场点的照明光学部件，其中

--对于物场的每一物场点，该照明光学部件具有与该物点相关的出射光瞳，其中sin(γ)为该出射光瞳的最大边缘角值，以及其中

--该照明光学部件包括多镜阵列（38），所述多镜阵列包括调整与这些物场点相关的出射光瞳中的强度分布的多个镜，

-将该物场成像在像平面中的像场上的投射光学部件（8），

其特征在于：

该照明光学部件包含至少一个光学系统（32），用来在时间上稳定该多镜阵列（38）的照明，使得对于每一物场点，在外和/或内σ上，该相关出射光瞳中的第一调整强度分布相对于在该相关出射光瞳中的第二调整强度分布偏离了小于0.1，

对于所有物场点，与一物场点相关的出射光瞳的最大边缘角值sin(γ)大于0.2，

所述设备在光源（1）与该多镜阵列（38）之间具有照明光线的照明光束（121,122），该光学系统通过在该多镜阵列（38）上照明光束（121,122）的照明光线的叠加而进行该多镜阵列（38）的照明的时间上稳定化，其中该光学系统（32）配置以在该多镜阵列（38）上产生该照明光束（121,122）的该照明光线的不相干叠加，

所述设备在光源与该多镜阵列（38）之间具有光轴，且该照明光束（121,122）的照明光线在该光源（1）与该多镜阵列（38）之间的垂直于该光轴的平面中具有相关于该光轴的高度，其中该照明光线的相位延滞作为相对于该光轴的该照明光线的高度的函数被引入，

该照明光线的该相位延滞由配置在该光源与该多镜阵列（38）之间的透明光学相位元件（33a）产生，并且

该光学系统包括具有第一蜂巢通道板和第二蜂巢通道板的蜂巢式聚光器（32），其中所述光学相位元件（33a）配置在所述第一和第二蜂巢通道板之间。

2.如权利要求1的设备，其特征在于与物场点相关的该出射光瞳的一照明立体角范围由该多镜阵列（38）的一镜所产生，且具有以该相关出射光瞳的最大边缘角值sin(γ)来表达的、小于5%的、尤其小于1%的最大角范围值。

3.如前述权利要求中任一的设备，其特征在于通过该多镜阵列（38）的至少两个镜，尤其通过该多镜阵列的至少四个镜，在与一物场点相关的出射光瞳中的一立体角范围被照明，具有非零的强度，以及以相关该出射光瞳的最大边缘角值表达的、小于10%、尤其小于2%的角度范围值。

4.如权利要求1的设备，其特征在于该照明光束（121,122）具有发散度以及从该光源（19）到该多镜阵列（38）的照明光方向，其中，在光学系统（32）之后的照明光方向的照明光束（121,122）的该发散度，比在光学系统（32）之前的照明光束（121,122）的该发散度的两倍小。

5.如前述权利要求中任一的设备，其特征在于该光学系统具有远心光束路径，该远心光束路径由至少一个棱镜或镜子（30）折叠。

6.如前述权利要求中任一的设备，其特征在于该光学系统配置以产生不相干叠加的时间上的修改。

7.如前述权利要求中任一的设备，其特征在于它包括产生一照明光束的激光，该激光具有多于一个的相干激光模式与一激光输出，且该照明光束（121,122）具有发散度、光线或束分布与偏振状态，其中该光学系统包括光学调节单元（400,32c），用来修改在该激光输出与该多镜阵列（38）之间的该照明光束的至少该发散度和/或该光线分布和/或该偏振状态。

8.如权利要求7的设备，其特征在于该光学调节单元（400）包括至少一个变形元件和/或一非球面元件（701）和/或具有自由形式表面的元件（701）和/或DOE（3d）。

9.如权利要求6的设备，其特征在于该光学系统包括具有镜表面的镜（820）以及驱动器（822），所述驱动器配置为产生该镜表面的至少一部分的倾斜，特别是配置为产生镜关于旋转轴的旋转振荡，所述旋转轴相对于该光轴倾斜了与0°不同的角度。