[发明专利]可光固化聚合物电介质及其制备方法和用途有效

专利信息
申请号: 201310529741.4 申请日: 2009-11-20
公开(公告)号: CN103560206A 公开(公告)日: 2014-02-05
发明(设计)人: J·奎因;颜河;郑焱;C·纽曼;S·A·克勒;A·法凯蒂;T·布赖纳 申请(专利权)人: 巴斯夫欧洲公司;破立纪元有限公司
主分类号: H01L51/05 分类号: H01L51/05;H01L51/00;H01L51/30
代理公司: 北京市中咨律师事务所 11247 代理人: 肖威;刘金辉
地址: 德国路*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: 光固化 聚合物 电介质 及其 制备 方法 用途
【权利要求书】:

1.一种薄膜晶体管器件,包含:

介电层;

半导体层;

栅电极;

源电极;和

漏电极;

其中所述介电层沉积在所述半导体层和所述栅电极之间;并且所述源电极和所述漏电极与所述半导体层接触,以及

其中所述介电层包含聚合物薄膜,所述聚合物薄膜包含含有重复单元的聚合物,所述重复单元具有包含任选取代的香豆素-6-基结构部分的侧基。

2.权利要求1的器件,其中所述任选取代的香豆素-6-基结构部分具有下式:

其中

R1和R2相互独立地选自a)H,b)卤素,c)-CN,d)-NO2,e)-OR4,f)-N(R4)2,g)-CHO,h)-C(O)R4,i)-C(O)OR4,j)-C(O)N(R4)2,k)C1-20烷基,l)C2-20链烯基,m)C2-20炔基,n)C1-20烷氧基,o)C1-20烷硫基,p)C1-20卤代烷基,q)-Y-C3-14环烃基,r)-Y-C6-14芳基,s)-Y-3-14员环杂烷基和t)-Y-5-14员杂芳基,其中所述C1-20烷基、C2-20链烯基、C2-20炔基、C3-14环烃基、C6-14芳基、3-14员环杂烷基和5-14员杂芳基各自任选被1-5个基团R5取代;

R3在每次出现时独立地选自a)卤素,b)-CN,c)-NO2,d)-OR4,e)-N(R4)2,f)-CHO,g)-C(O)R4,h)-C(O)OR4,i)-C(O)N(R4)2,j)C1-20烷基,k)C2-20链烯基,l)C2-20炔基,m)C1-20烷氧基,n)C1-20烷硫基,o)C1-20卤代烷基,p)-Y-C3-14环烃基,q)-Y-C6-14芳基,r)-Y-3-14员环杂烷基和s)-Y-5-14员杂芳基,其中所述C1-20烷基、C2-20链烯基、C2-20炔基、C3-14环烃基、C6-14芳基、3-14员环杂烷基和5-14员杂芳基各自任选被1-5个基团R5取代,其中

R4在每次出现时独立地选自a)H,b)C1-20烷基,c)C2-20链烯基,d)C2-20炔基,e)C1-20烷氧基,f)C1-20烷硫基,g)C1-20卤代烷基,h)-Y-C3-14环烃基,i)-Y-C6-14芳基,j)-Y-3-14员环杂烷基和k)-Y-5-14员杂芳基,其中所述C1-20烷基、C2-20链烯基、C2-20炔基、C3-14环烃基、C6-14芳基、3-14员环杂烷基和5-14员杂芳基各自任选被1-5个基团R5取代;

R5在每次出现时独立地选自a)卤素,b)-CN,c)-NO2,d)-OH,e)-O-C6-14芳基,f)-NH2,g)-NH-C1-10烷基,h)-N(C1-10烷基)2,i)-NH-C6-14芳基,j)-N(C1-10烷基)-C6-14芳基,k)-N(C6-14芳基)2,l)-CHO,m)-C(O)-C1-10烷基,n)-C(O)-C6-14芳基,o)-C(O)OH,p)-C(O)-OC1-10烷基,q)-C(O)-OC6-14芳基,r)-C(O)NH2,s)-C(O)NH-C1-10烷基,t)-C(O)N(C1-10烷基)2,u)-C(O)NH-C6-14芳基,v)-C(O)N(C1-10烷基)-C6-14芳基,w)-C(O)N(C6-14芳基)2,x)C1-10烷基,y)C2-10链烯基,z)C2-10炔基,aa)C1-10烷氧基,ab)C1-10烷硫基,ac)C1-10卤代烷基,ad)-Y-C3-14环烃基,ae)-Y-C6-14芳基,af)-Y-3-14员环杂烷基和ag)-Y-5-14员杂芳基,其中所述C1-10烷基、C2-10链烯基、C2-10炔基、C3-14环烃基、C6-14芳基、3-14员环杂烷基和5-14员杂芳基各自任选被1-5个独立地选自卤素、CN、C1-6烷基、C1-6卤代烷基、C1-6烷氧基、-O-C1-6卤代烷基、-C(O)-C1-6烷基、-C(O)-C1-6卤代烷基和-C(O)-O-C1-6烷基的取代基取代;和

Y在每次出现时为二价C1-6烷基、二价C2-6链烯基、二价C2-6炔基或共价键;和

b为0、1、2或3。

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