[发明专利]一种具有主副双图案的LED图形化衬底及LED芯片

说明书

技术领域

本发明涉及LED及LED芯片，特别涉及一种具有主副双图案的LED图形化衬底及LED芯片。

背景技术

近年来，GaN基LED因具有亮度高、能耗低、寿命长等诸多优点，被广泛应用于交通指示灯、LCD背光源、全彩显示器和通用照明领域等。然而，GaN材料的折射率（n=2.45）与空气（n=1.0）之间存在巨大差异，全反射临界角仅为24度左右，这导致光线在芯片内部发生显著的全反射现象而无法射出LED，大大降低了LED的光提取率。后来针对这一问题提出了改善方案，如引入布拉格反射层、光子晶体，表面粗化和衬底图形化等。其中，图形化衬底技术不仅能提高光提取率，还能提高内量子效率。一方面，衬底上的图案通过折射和反射改变光的轨迹，使光在界面出射的入射角变小（小于全反射临界角），从而得以透射而出，提高光的提取率；另一方面，图案还可以使得后续的GaN生长出现侧向磊晶的效果，减少晶体缺陷，提高内量子效率。

图形化衬底技术的关键在于对衬底图案的设计，其对LED的出光效率起着决定性作用。为满足器件性能的要求，图案的种类已几番更新，从最初的槽形到六角形、锥形、棱台型等，图形化衬底技术的应用效果已受到认可。S.Suihkonen等人的实验证明:具有较大高度的六角形图案增强了对光线的反射、散射作用，并且具有尖锥状凸起结构的锥形图案的倾斜角对LED的出光有较大的影响。Lee等人使用ICP刻蚀获得圆锥体图形化蓝宝石衬底，在20mA电流的驱动下，获得的LED的输出功率提高了35%；Su等人分别在蓝宝石衬底上制造出纳米级圆孔图案和微米级圆孔图案，其结果显示，纳米级图案相比微米级图案有更好的出光效率。C.C.Wang等人认为单位面积内图形尺度的减小能够增加反射面从而提高光线的出射几率。

目前的研究已经证明随着衬底上相邻图案之间距离的缩小，LED芯片的光提取率明显增加。其原因在于，图案之间的距离缩小使单位面积的衬底表面上可以排布更多的图案，图案更加密集，从而能够更大限度地提高LED的光提取率。一直以来，图形化衬底技术的图案设计都仅限于对于单一种类图案的规则排布，如圆锥、六棱锥、三棱锥、半球等单一图案的矩形或六角排布。在这种传统的衬底图案设计中，图案间距不可能无极限地缩小，因此图案存着一个有限的最密排布度。但是，即使在最密排布的图案中，相邻图案之间仍然存在较多间隙，这部分间隙存在着进一步提升图形化衬底LED光提取率的空间。

发明内容

为了克服现有技术的上述缺点与不足，本发明的目的在于提供一种具有主副双图案的LED图形化衬底及LED芯片，大大提高了LED的光提取率。

本发明的目的通过以下技术方案实现：

一种具有主副双图案的LED图形化衬底，衬底上的图案由排列在衬底表面的主图案和副图案组成；所述副图案的体积小于主图案的体积；所述副图案排布在主图案的间隙中。

所述主图案采用矩形排布方式。

所述主图案采用六角排布方式。

所述主图案采用菱形排布方式。

所述主图案采用圆周分布排布方式。

一种LED芯片，包含上述的具有主副双图案的LED图形化衬底。

与现有技术相比，本发明具有以下优点和有益效果：

本发明的LED图形化衬底的图案采用排列在衬底表面的主图案和副图案，副图案排布在主图案的间隙中，副图案的体积小于主图案的体积，该方案相对于单一种类图案的图形化衬底，衬底上的图案更加密集，有利于更多的光线射出LED芯片，尤其有利于更多的光线从芯片顶部射出，大大提高了LED光提取率，为图形化衬底技术提供了新的研究与应用方向。

附图说明

图1为本发明的实施例1的LED芯片的示意图。

图2为本发明的实施例1的具有主副双图案的LED图形化衬底的示意图。

图3为本发明的实施例1的主图案的示意图。

图4为本发明的实施例2的具有主副双图案的LED图形化衬底的示意图。

图5为本发明的实施例2的主图案的示意图。

图6为本发明的实施例2的副图案的示意图。

图7为本发明的实施例3的具有主副双图案的LED图形化衬底的示意图。

图8为本发明的实施例3的主图案的示意图。

图9为本发明的实施例3的副图案的示意图。

具体实施方式

下面结合实施例，对本发明作进一步地详细说明，但本发明的实施方式不限于此。

实施例1