[发明专利]靶材的制作方法在审
| 申请号： | 201310530633.9 | 申请日： | 2013-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN104593719A | 公开（公告）日： | 2015-05-06 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;张金林 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张亚利;骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制作方法 | ||
1.一种靶材的制作方法，其特征在于，包括：
提供第一靶材坯料；
对所述第一靶材坯料进行锻打，形成第二靶材坯料；
对所述第二靶材坯料进行静压，形成第三靶材坯料；
对所述第三靶材坯料进行压延，形成第四靶材坯料；
对所述第四靶材坯料进行热处理，形成靶材。
2.根据权利要求1所述的靶材的制作方法，其特征在于，所述第一靶材坯料的材料为铝。
3.根据权利要求1或2所述的靶材的制作方法，其特征在于，所述第二靶材坯料为圆柱体。
4.根据权利要求3所述的靶材的制作方法，其特征在于，所述静压为八角静压，所述第三靶材坯料为正八棱柱，或者，所述静压为九角静压，所述第三靶材坯料为正九棱柱。
5.根据权利要求4所述的靶材的制作方法，其特征在于，所述静压的具体工艺步骤为：
将第二靶材坯料放置在静压机上；
所述静压机的压头对第二靶材坯料的侧面施加静压压力；
对第二靶材坯料的侧面施加所述静压压力后，对第二靶材坯料的上、下表面施加所述静压压力。
6.根据权利要求5所述的靶材的制作方法，其特征在于，所述静压温度为23℃～30℃，所述静压压力为3吨～5吨。
7.根据权利要求3所述的靶材的制作方法，其特征在于，所述第一靶材坯料为圆柱体，所述锻打后，相对于所述第一靶材坯料的高度，第二靶材坯料的高度被拉伸60%～70%。
8.根据权利要求7所述的靶材的制作方法，其特征在于，所述锻打的温度为100℃～200℃，所述锻打的压力为6吨～7吨。
9.根据权利要求1所述的靶材的制作方法，其特征在于，所述压延的温度为20℃～30℃，所述第四靶材坯料为圆柱体，所述压延后，所述第四靶材坯料的高度被压缩60%～70%。
10.根据权利要求1所述的靶材的制作方法，其特征在于，所述热处理的温度为100℃～200℃，所述热处理的时间为20min～30min。
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