[发明专利]一种绒面透明导电膜及其制备方法

权利要求书

1.一种绒面透明导电膜的制备方法，其特征在于，包括：

将形成有透明导电膜的衬底的温度调整至18℃～25℃；

在酸液中对调整温度后的透明导电膜进行制绒，制绒时长为30～100秒，其中，所述酸液按重量百分比计，含有0.0365%～0.365%氯化氢，0.04%～0.4%氟化氢，0.1%～0.5%草酸及0.1%～0.5%醋酸；

对制绒后的透明导电膜进行清洗。

2.如权利要求1所述的绒面透明导电膜的制备方法，其特征在于，所述酸液含有0.0365%～0.182%氯化氢，0.04%～0.2%氟化氢，0.1%～0.3%草酸及0.1%～0.3%醋酸。

3.如权利要求2所述的绒面透明导电膜的制备方法，其特征在于，所述酸液含有0.182%氯化氢，0.08%氟化氢，0.2%草酸及0.1%醋酸；或者，所述酸液含有0.0365%氯化氢，0.04%氟化氢，0.1%草酸及0.1%醋酸；或者，所述酸液含有0.182%氯化氢，0.2%氟化氢，0.3%草酸及0.3%醋酸。

4.如权利要求1所述的绒面透明导电膜的制备方法，其特征在于，所述制绒时长为30秒、50秒、60秒、100秒或120秒。

5.如权利要求1所述的绒面透明导电膜的制备方法，其特征在于，所述将形成有透明导电膜的衬底的温度调整至18℃～25℃具体为：将形成有透明导电膜的衬底浸润在18℃～25℃的去离子水中，使其温度调整至18℃～25℃。

6.如权利要求1所述的绒面透明导电膜的制备方法，其特征在于，所述将形成有透明导电膜的衬底的温度调整至18℃～25℃具体为：将形成有透明导电膜的衬底的温度调整至18℃、20℃或25℃。

7.如权利要求1所述的绒面透明导电膜的制备方法，其特征在于，所述透明导电膜采用磁控溅射镀膜的方法在衬底上形成。

8.如权利要求1～7任一项所述的绒面透明导电膜的制备方法，其特征在于，所述透明导电膜的材质为掺铝氧化锌，其中铝的掺杂浓度为1%～1.2%。

9.如权利要求8所述的绒面透明导电膜的制备方法，其特征在于，所述透明导电膜的厚度为700～1200nm。

10.如权利要求9所述的绒面透明导电膜的制备方法，其特征在于，所述透明导电膜的厚度为700nm、900nm、1000nm或1200nm。

11.一种绒面透明导电膜，其特征在于，通过如权利要求1～10任一项所述的绒面透明导电膜的制备方法得到。